Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Keramisches Bauteil, Verfahren zur Herstellung des Bauteils und dessen Verwendung
Keramisches Bauteil, das unter Reinraumbedingungen in der Halbleiterindustrie oder der Elektrotechnik einsetzbar ist, dessen Oberfläche sandgestrahlt ist, und die sandgestrahlte Oberfläche eine vollständige und homogene glaskeramische Schicht einer Dicke zwischen 0,05 und 4,8 µm aufweist.
Keramisches Bauteil, Verfahren zur Herstellung des Bauteils und dessen Verwendung
Keramisches Bauteil, das unter Reinraumbedingungen in der Halbleiterindustrie oder der Elektrotechnik einsetzbar ist, dessen Oberfläche sandgestrahlt ist, und die sandgestrahlte Oberfläche eine vollständige und homogene glaskeramische Schicht einer Dicke zwischen 0,05 und 4,8 µm aufweist.
Keramisches Bauteil, Verfahren zur Herstellung des Bauteils und dessen Verwendung
KIENZLE ANDREAS (Autor:in) / KRÄTSCHMER INGRID (Autor:in) / ERNST-SIEBERT ROBERT (Autor:in) / PUTZ THOMAS (Autor:in)
19.12.2019
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
Verfahren zur Herstellung eines Bauteils, das Bauteil selber und dessen Verwendung
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