Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors
Ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Lötprozess, wobei das Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei erfindungsgemäß bei der Durchführung des Sputterverfahrens ein Zwischentarget durch Sputtern von Komponenten des Aktivhartlots mit dem Aktivhartlot beschichtet wird (131), und mindestens ein Keramikteil, vorzugsweise beide Keramikteile abschnittsweise durch Sputtern des beschichteten Zwischentargets mit dem Aktivhartlot beschichtet wird bzw. werden (132).
Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors
Ein Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Oberflächen oder Oberflächenabschnitten zweier Keramikteile umfasst: Bereitstellen (110) eines ersten Keramikteils und eines zweiten Keramikteils; Bereitstellen (130) eines Aktivhartlotmaterials auf zumindest einem Oberflächenabschnitt zumindest eines der Keramikteile; und Erhitzen das Aktivhartlots in einem Lötprozess, wobei das Aktivhartlotmaterial zum Verbinden des ersten und des zweiten Keramikteils durch ein Sputterverfahren (130) bereitgestellt wird, wobei erfindungsgemäß bei der Durchführung des Sputterverfahrens ein Zwischentarget durch Sputtern von Komponenten des Aktivhartlots mit dem Aktivhartlot beschichtet wird (131), und mindestens ein Keramikteil, vorzugsweise beide Keramikteile abschnittsweise durch Sputtern des beschichteten Zwischentargets mit dem Aktivhartlot beschichtet wird bzw. werden (132).
Verfahren zum Herstellen einer Verbindung zwischen zwei Keramikteilen, insbesondere von Teilen eines Drucksensors
DREWES ULFERT (Autor:in) / PONATH NILS (Autor:in) / ROSSBERG ANDREAS (Autor:in) / THAM ANH TUAN (Autor:in)
19.05.2016
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
IPC:
B23K
Löten
,
SOLDERING OR UNSOLDERING
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
G01L
Messen von Kraft, mechanischer Spannung, Drehmoment, Arbeit, mechanischer Leistung, mechanischem Wirkungsgrad oder des Drucks von Fluiden
,
MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
| Europäisches Patentamt | 2017
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