Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte, insbesondere für einen Clamp zur Waferhalterung, Verfahren zur Herstellung einer Haltevorrichtung zur Halterung eines Bauteils, Halteplatte und Haltevorrichtung
Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte (11), die ein Keramikmaterial aus mehreren chemischen Elementen umfasst und für eine Haltevorrichtung (10) zur Halterung eines Bauteils durch elektrostatische Kräfte oder Unterdruck konfiguriert ist, mit den Schritten- Materialabtrag von der Halteplatte (11) mittels Laserablation, wobei durch eine Laserbestrahlung (1) eine Vielzahl von Vorsprüngen (13) auf der Halteplatte (11) geformt werden, deren Stirnseiten (13.1) eine Trägerfläche für das Bauteil aufspannen, und- Oberflächenmodifizierung der Halteplatte (11) durch die Laserbestrahlung (1), wobei Bestrahlungsparameter der Laserbestrahlung (1) so eingestellt werden, dass auf der Oberfläche der Halteplatte (11) mindestens eines der chemischen Elemente des Keramikmaterials derart angereichert wird, dass das stöchiometrische Verhältnis der chemischen Elemente an der Oberfläche im Vergleich zum Volumenmaterial hin zu mindestens einem der chemischen Elemente verschoben wird.
Method of manufacturing holding plate (11) including ceramic material of several chemical elements and configured for holding apparatus (10) for holding a component by electrostatic forces or vacuum, includes the steps of material removal from holding plate (11) by laser ablation, wherein by laser irradiation (1) protrusions (13) are formed on holding plate (11), end faces (13.1) of which span a carrier surface for the component, and surface modification of holding plate (11) by laser irradiation (1), wherein irradiation parameters of laser irradiation (1) are set such that at least one of the chemical elements of the ceramic material is enriched on the surface of holding plate (11). A method is also described of manufacturing holding apparatus (10) for holding a component by electrostatic forces or vacuum, holding plate (11) which is produced with the inventive method, and holding apparatus (10) with at least one holding plate (11).
Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte, insbesondere für einen Clamp zur Waferhalterung, Verfahren zur Herstellung einer Haltevorrichtung zur Halterung eines Bauteils, Halteplatte und Haltevorrichtung
Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte (11), die ein Keramikmaterial aus mehreren chemischen Elementen umfasst und für eine Haltevorrichtung (10) zur Halterung eines Bauteils durch elektrostatische Kräfte oder Unterdruck konfiguriert ist, mit den Schritten- Materialabtrag von der Halteplatte (11) mittels Laserablation, wobei durch eine Laserbestrahlung (1) eine Vielzahl von Vorsprüngen (13) auf der Halteplatte (11) geformt werden, deren Stirnseiten (13.1) eine Trägerfläche für das Bauteil aufspannen, und- Oberflächenmodifizierung der Halteplatte (11) durch die Laserbestrahlung (1), wobei Bestrahlungsparameter der Laserbestrahlung (1) so eingestellt werden, dass auf der Oberfläche der Halteplatte (11) mindestens eines der chemischen Elemente des Keramikmaterials derart angereichert wird, dass das stöchiometrische Verhältnis der chemischen Elemente an der Oberfläche im Vergleich zum Volumenmaterial hin zu mindestens einem der chemischen Elemente verschoben wird.
Method of manufacturing holding plate (11) including ceramic material of several chemical elements and configured for holding apparatus (10) for holding a component by electrostatic forces or vacuum, includes the steps of material removal from holding plate (11) by laser ablation, wherein by laser irradiation (1) protrusions (13) are formed on holding plate (11), end faces (13.1) of which span a carrier surface for the component, and surface modification of holding plate (11) by laser irradiation (1), wherein irradiation parameters of laser irradiation (1) are set such that at least one of the chemical elements of the ceramic material is enriched on the surface of holding plate (11). A method is also described of manufacturing holding apparatus (10) for holding a component by electrostatic forces or vacuum, holding plate (11) which is produced with the inventive method, and holding apparatus (10) with at least one holding plate (11).
Verfahren zur Herstellung einer Halteplatte, insbesondere für einen Clamp zur Waferhalterung, Verfahren zur Herstellung einer Haltevorrichtung zur Halterung eines Bauteils, Halteplatte und Haltevorrichtung
HAMMER RALF (Autor:in) / HÖSCHELER STEFAN (Autor:in) / FISCHER MIKE (Autor:in) / HASPER GREGOR (Autor:in)
20.07.2023
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
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