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Mullit-enthaltender Sinterkörper, Verfahren zur Herstellung desselben und Verbundwerkstoffsubstrat
Ein Mullit-enthaltender Sinterkörper gemäß der vorliegenden Erfindung enthält Mullit und mindestens eines, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Siliziumnitrid, Siliziumoxynitrid und Sialon. Es ist bevorzugt, dass der Mullit-enthaltende Sinterkörper einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von weniger als 4,3 ppm/°C bei 40°C bis 400°C, eine offene Porosität von 0,5% oder weniger und eine mittlere Korngröße von 1,5 μm oder weniger aufweist.
A mullite-containing sintered body according to the present invention contains mullite and at least one selected from the group consisting of silicon nitride, silicon oxynitride, and sialon. It is preferable that the mullite-containing sintered body have a thermal expansion coefficient of less than 4.3 ppm/° C. at 40° C. to 400° C., an open porosity of 0.5% or less, and an average grain size of 1.5 μm or less.
Mullit-enthaltender Sinterkörper, Verfahren zur Herstellung desselben und Verbundwerkstoffsubstrat
Ein Mullit-enthaltender Sinterkörper gemäß der vorliegenden Erfindung enthält Mullit und mindestens eines, ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Siliziumnitrid, Siliziumoxynitrid und Sialon. Es ist bevorzugt, dass der Mullit-enthaltende Sinterkörper einen Wärmeausdehnungskoeffizienten von weniger als 4,3 ppm/°C bei 40°C bis 400°C, eine offene Porosität von 0,5% oder weniger und eine mittlere Korngröße von 1,5 μm oder weniger aufweist.
A mullite-containing sintered body according to the present invention contains mullite and at least one selected from the group consisting of silicon nitride, silicon oxynitride, and sialon. It is preferable that the mullite-containing sintered body have a thermal expansion coefficient of less than 4.3 ppm/° C. at 40° C. to 400° C., an open porosity of 0.5% or less, and an average grain size of 1.5 μm or less.
Mullit-enthaltender Sinterkörper, Verfahren zur Herstellung desselben und Verbundwerkstoffsubstrat
ISODA YOSHINORI (Autor:in) / SUZUKI YOSHIO (Autor:in) / INOUE KATSUHIRO (Autor:in) / KATSUDA YUJI (Autor:in)
28.09.2017
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
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