Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Verfahren zur Herstellung einer Vakuummembranmesszelle
Verfahren zur Herstellung einer Vakuummesszelle (8) mit einer Membran (2) als Druckwandler, wobei auf der einen Seite der Membran (2) beabstandet eine erste Gehäuseplatte (1) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, derart dass dazwischen ein Referenzvakuumraum (7) ausgebildet ist, und dass auf der anderen Seite der Membran (2) beabstandet eine zweite Gehäuseplatte (4) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, derart dass dazwischen ein Messvakuumraum (9) ausgebildet ist, und dass die zweite Gehäuseplatte (4) eine Öffnung aufweist und mit dieser und dem Messvakuumraum (9) kommunizierend Anschlussmittel (5) mit Verbindungsmittel (6) dichtend angeordnet ist zur Verbindung des Messvakuumraumes (9) mit dem zu messenden Medium, wobei mindestens die Membran (2) und die beiden Gehäuseplatten (1, 4) als Keramikteile (1, 2, 4) aus einem Aluminiumoxid gebildet werden, dadurch gekennzeichnet, dass für mindestens eines der Verbindungsmittel (3, 6) Aluminium mit einer Dicke im Bereich von 0,5 µm bis 30 µm im Verbindungsbereich zwischen den zu verbindenden Keramikteilen (1, 2, 4) angeordnet wird und dass die zu verbindenden Keramikteile (1, 2, 4) bei erhöhter Temperatur im Bereich von 600 °C bis 680 °C zusammen gepresst werden bei einer die Teile umgebenden Prozessgasatmosphäre, die ein reduzierendes Gas enthält, während einer Dauer im Bereich von 30 bis 90 Minuten und dass anschliessend ein Temperungsschritt erfolgt in einer zweiten Prozessgasatmosphäre, die Sauerstoff enthält, wobei die Temperung in einem Temperaturbereich von 450 °C bis 575 °C erfolgt, derart dass das metallische Aluminium zu Aluminiumoxid oxidiert wird.
Method for producing a vacuum measuring cell having a pressure transducer diaphragm with housing plates sealed on opposite sides to form reference and measuring vacuum chambers. An opening in one plate communicates with the measuring vacuum chamber and has a sealed connection for joining to medium to be measured. The diaphragm and plates are aluminum oxide ceramic and at least one of the seals is aluminum with a thickness of 0.5 μm to 30 μm. The ceramic parts are pressed together at increased temperature of 600° C. to 680° C. in a process gas atmosphere including a reducing gas, during a time of 30 to 90 minutes, and subsequently a tempering step is carried out in a second process gas atmosphere including oxygen, tempering taking place at a temperature of 450° C. to 575° C. such that the metallic aluminum is oxidized into aluminum oxide.
Verfahren zur Herstellung einer Vakuummembranmesszelle
Verfahren zur Herstellung einer Vakuummesszelle (8) mit einer Membran (2) als Druckwandler, wobei auf der einen Seite der Membran (2) beabstandet eine erste Gehäuseplatte (1) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, derart dass dazwischen ein Referenzvakuumraum (7) ausgebildet ist, und dass auf der anderen Seite der Membran (2) beabstandet eine zweite Gehäuseplatte (4) im Randbereich mit einem Verbindungsmittel (3) dichtend angeordnet ist, derart dass dazwischen ein Messvakuumraum (9) ausgebildet ist, und dass die zweite Gehäuseplatte (4) eine Öffnung aufweist und mit dieser und dem Messvakuumraum (9) kommunizierend Anschlussmittel (5) mit Verbindungsmittel (6) dichtend angeordnet ist zur Verbindung des Messvakuumraumes (9) mit dem zu messenden Medium, wobei mindestens die Membran (2) und die beiden Gehäuseplatten (1, 4) als Keramikteile (1, 2, 4) aus einem Aluminiumoxid gebildet werden, dadurch gekennzeichnet, dass für mindestens eines der Verbindungsmittel (3, 6) Aluminium mit einer Dicke im Bereich von 0,5 µm bis 30 µm im Verbindungsbereich zwischen den zu verbindenden Keramikteilen (1, 2, 4) angeordnet wird und dass die zu verbindenden Keramikteile (1, 2, 4) bei erhöhter Temperatur im Bereich von 600 °C bis 680 °C zusammen gepresst werden bei einer die Teile umgebenden Prozessgasatmosphäre, die ein reduzierendes Gas enthält, während einer Dauer im Bereich von 30 bis 90 Minuten und dass anschliessend ein Temperungsschritt erfolgt in einer zweiten Prozessgasatmosphäre, die Sauerstoff enthält, wobei die Temperung in einem Temperaturbereich von 450 °C bis 575 °C erfolgt, derart dass das metallische Aluminium zu Aluminiumoxid oxidiert wird.
Method for producing a vacuum measuring cell having a pressure transducer diaphragm with housing plates sealed on opposite sides to form reference and measuring vacuum chambers. An opening in one plate communicates with the measuring vacuum chamber and has a sealed connection for joining to medium to be measured. The diaphragm and plates are aluminum oxide ceramic and at least one of the seals is aluminum with a thickness of 0.5 μm to 30 μm. The ceramic parts are pressed together at increased temperature of 600° C. to 680° C. in a process gas atmosphere including a reducing gas, during a time of 30 to 90 minutes, and subsequently a tempering step is carried out in a second process gas atmosphere including oxygen, tempering taking place at a temperature of 450° C. to 575° C. such that the metallic aluminum is oxidized into aluminum oxide.
Verfahren zur Herstellung einer Vakuummembranmesszelle
BERTSCH DIETMAR (Autor:in) / ONDA NICO (Autor:in) / DIETRICH KLAUS (Autor:in) / WÜEST MARTIN (Autor:in)
17.03.2022
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
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