Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Piezoelektrisches Filmelement und piezoelektrische Filmvorrichtung
Piezoelektrisches Filmelement, aufweisend:ein Substrat; undeinen auf einem Substrat bereit gestellten piezoelektrischen Film, der eine Alkalimetallnioboxid basierte Perowskitstruktur aufweist, die durch eine Zusammensetzungsformel (KNa)NbO(0 < x < 1) dargestellt wird,wobei die alkalinioboxidbasierte Zusammensetzung in einen Bereich von 0,40 ≤ x ≤ 0,70 und 0,77 ≤ y ≤ 0,90 fällt und weiterhin ein Verhältnis einer Außerebenengitterkonstanten (c) zu einer Inebenengitterkonstanten (a) des (KNa)NbOFilms in einen Bereich von 0,985 ≤ c/a ≤ 1,008 eingestellt ist.
To provide a piezoelectric film element, including: a substrate; and a piezoelectric film having an alkali niobium oxide-based perovskite structure represented by a composition formula (K1-xNax)yNbO3 (0
Piezoelektrisches Filmelement und piezoelektrische Filmvorrichtung
Piezoelektrisches Filmelement, aufweisend:ein Substrat; undeinen auf einem Substrat bereit gestellten piezoelektrischen Film, der eine Alkalimetallnioboxid basierte Perowskitstruktur aufweist, die durch eine Zusammensetzungsformel (KNa)NbO(0 < x < 1) dargestellt wird,wobei die alkalinioboxidbasierte Zusammensetzung in einen Bereich von 0,40 ≤ x ≤ 0,70 und 0,77 ≤ y ≤ 0,90 fällt und weiterhin ein Verhältnis einer Außerebenengitterkonstanten (c) zu einer Inebenengitterkonstanten (a) des (KNa)NbOFilms in einen Bereich von 0,985 ≤ c/a ≤ 1,008 eingestellt ist.
To provide a piezoelectric film element, including: a substrate; and a piezoelectric film having an alkali niobium oxide-based perovskite structure represented by a composition formula (K1-xNax)yNbO3 (0
Piezoelektrisches Filmelement und piezoelektrische Filmvorrichtung
SUENAGA KAZUFUMI (Autor:in) / WATANABE KAZUTOSHI (Autor:in) / NOMOTO AKIRA (Autor:in) / HORIKIRI FUMIMASA (Autor:in) / SHIBATA KENJI (Autor:in)
06.02.2020
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
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