Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Verbundsubstrat und Verfahren zu dessen Herstellung
Verbundsubstrat (10) mit:einem Trägersubstrat (14); undeinem Substrat (12), das aus Lithiumtantalat, Lithiumniobat, Galliumnitrid oder Silicium besteht und an das Trägersubstrat (14) gebunden ist,wobei das Trägersubstrat (14) ein Mullitsubstrat ist, das aus einem Mullitsinterkörper besteht, der einen Verunreinigungselementgehalt von 1 Masse% oder weniger hat und der gesinterte Mullitkörner enthält, die eine mittlere Korngröße von 8 µm oder weniger haben, undwobei Poren, die in einer planarisierten Oberfläche des Trägersubstrats (14) vorhanden sind, eine mittlere Länge der längsten Abschnitte der Poren von 0,4 µm oder weniger haben und die Glättungstiefe Rp der Oberfläche 30 nm oder weniger beträgt.
A mullite sintered body according to the present invention has an impurity element content of 1% by mass or less and contains sintered mullite grains having an average grain size of 8 μm or less. When a surface of the mullite sintered body is finished by polishing, pores in the surface have an average largest pore length of 0.4 μm or less. The surface preferably has a center line average surface roughness (Ra) of 3 nm or less. The surface preferably has a maximum peak height (Rp) of 30 nm or less. The number of pores in the surface is preferably 10 or less per unit area of 4 μm×4 μm.
Verbundsubstrat und Verfahren zu dessen Herstellung
Verbundsubstrat (10) mit:einem Trägersubstrat (14); undeinem Substrat (12), das aus Lithiumtantalat, Lithiumniobat, Galliumnitrid oder Silicium besteht und an das Trägersubstrat (14) gebunden ist,wobei das Trägersubstrat (14) ein Mullitsubstrat ist, das aus einem Mullitsinterkörper besteht, der einen Verunreinigungselementgehalt von 1 Masse% oder weniger hat und der gesinterte Mullitkörner enthält, die eine mittlere Korngröße von 8 µm oder weniger haben, undwobei Poren, die in einer planarisierten Oberfläche des Trägersubstrats (14) vorhanden sind, eine mittlere Länge der längsten Abschnitte der Poren von 0,4 µm oder weniger haben und die Glättungstiefe Rp der Oberfläche 30 nm oder weniger beträgt.
A mullite sintered body according to the present invention has an impurity element content of 1% by mass or less and contains sintered mullite grains having an average grain size of 8 μm or less. When a surface of the mullite sintered body is finished by polishing, pores in the surface have an average largest pore length of 0.4 μm or less. The surface preferably has a center line average surface roughness (Ra) of 3 nm or less. The surface preferably has a maximum peak height (Rp) of 30 nm or less. The number of pores in the surface is preferably 10 or less per unit area of 4 μm×4 μm.
Verbundsubstrat und Verfahren zu dessen Herstellung
ISODA YOSHINORI (Autor:in) / SATO YOSUKE (Autor:in) / KATSUDA YUJI (Autor:in)
02.11.2023
Patent
Elektronische Ressource
Deutsch
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