Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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PIEZOELECTRIC FILM AND APPLICATION THEREOF
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric film having a higher polarization disappearance temperature Td.SOLUTION: The piezoelectric film includes: an interface layer 14 of (Na, Bi) TiO-BaTiOwhich has (001) orientation only; and a piezoelectric layer 15 of(Na, Bi) TiO-BaTiOwhich has (001) orientation only (0.28≤x1≤0.43, 0.49≤y1≤0.60, 0.30≤x2≤0.46, and 0.51≤y2≤0.63). The interface layer 14 includes nickel and has Ni/Ti molar ratio of 0.02 or more.
【課題】より高い分極消失温度Ｔｄを有する圧電体膜を提供する。【解決手段】圧電体膜は、（００１）配向のみを有する（Ｎａx1，Ｂｉy1）ＴｉＯ0.5x1+1.5y1+2−ＢａＴｉＯ3界面層１４、および（００１）配向のみを有する（Ｎａx2，Ｂｉy2）ＴｉＯ0.5x2+1.5y2+2−ＢａＴｉＯ3圧電体層１５を具備する（０．２８≰ｘ１≰０．４３、０．４９≰ｙ１≰０．６０、０．３０≰ｘ２≰０．４６、および０．５１≰ｙ２≰０．６３）。界面層１４は、ニッケルを含有し、かつ０．０２以上のＮｉ／Ｔｉモル比を有している。【選択図】図１Ａ
PIEZOELECTRIC FILM AND APPLICATION THEREOF
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a piezoelectric film having a higher polarization disappearance temperature Td.SOLUTION: The piezoelectric film includes: an interface layer 14 of (Na, Bi) TiO-BaTiOwhich has (001) orientation only; and a piezoelectric layer 15 of(Na, Bi) TiO-BaTiOwhich has (001) orientation only (0.28≤x1≤0.43, 0.49≤y1≤0.60, 0.30≤x2≤0.46, and 0.51≤y2≤0.63). The interface layer 14 includes nickel and has Ni/Ti molar ratio of 0.02 or more.
【課題】より高い分極消失温度Ｔｄを有する圧電体膜を提供する。【解決手段】圧電体膜は、（００１）配向のみを有する（Ｎａx1，Ｂｉy1）ＴｉＯ0.5x1+1.5y1+2−ＢａＴｉＯ3界面層１４、および（００１）配向のみを有する（Ｎａx2，Ｂｉy2）ＴｉＯ0.5x2+1.5y2+2−ＢａＴｉＯ3圧電体層１５を具備する（０．２８≰ｘ１≰０．４３、０．４９≰ｙ１≰０．６０、０．３０≰ｘ２≰０．４６、および０．５１≰ｙ２≰０．６３）。界面層１４は、ニッケルを含有し、かつ０．０２以上のＮｉ／Ｔｉモル比を有している。【選択図】図１Ａ
PIEZOELECTRIC FILM AND APPLICATION THEREOF
圧電体膜ならびにその用途
HASHIMOTO KAZUYA (Autor:in) / TANAKA YOSHIAKI (Autor:in) / HARIGAI TAKAKIYO (Autor:in) / ADACHI HIDEAKI (Autor:in) / FUJII AKIYUKI (Autor:in)
08.10.2015
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
B06B
GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
,
Erzeugen oder Übertragen mechanischer Schwingungen allgemein
/
B41J
TYPEWRITERS
,
Schreibmaschinen
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
G01C
Messen von Entfernungen, Höhen, Neigungen oder Richtungen
,
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS
/
H02N
Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
,
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
Piezoelectric thin film, piezoelectric element, and manufacturing method thereof
| Europäisches Patentamt | 2016
PIEZOELECTRIC THIN FILM, PIEZOELECTRIC ELEMENT, AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| Europäisches Patentamt | 2016
| Europäisches Patentamt | 2022
| Europäisches Patentamt | 2024
METHOD FOR MANUFACTURING PIEZOELECTRIC FILM, PIEZOELECTRIC FILM, AND PIEZOELECTRIC ELEMENT
| Europäisches Patentamt | 2020