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POLYCRYSTALLINE ALUMINUM MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a polycrystalline aluminum substrate high in relative density without using a binder which affects on physical properties.SOLUTION: There is provided a method having a process for compressing aluminum nitride powder for forming a compressed aluminum nitride slag and a process of sintering the compressed aluminum nitride slag by heating under no-oxygen environment with heating speed of 0.1°C/min to 5°C/min. to a maximum temperature of at least 1500°C for forming an aluminum nitride sintered pool having thickness of at least 5 cm and diameter or length or width of at least 5 cm, and the sintered aluminum nitride pool contains aluminum nitride with relative density of at least 98% and purity of at least 98 wt.%.SELECTED DRAWING: None
【課題】物理的特性に影響を及ぼす結合剤を使用せず、相対密度の高い多結晶窒化アルミニウム基板の製造方法の提供。【解決手段】加圧窒化アルミニウムスラグを形成するために、窒化アルミニウム粉を加圧する工程と、少なくとも5cmの厚さと少なくとも5cmの直径または長さまたは幅を有する窒化アルミニウム焼結ブールを形成するために、非酸素環境下で0.1℃/分〜5℃/分の加熱速度で少なくとも1500℃の最高温度まで加熱することにより、加圧窒化アルミニウムスラグを焼結する工程とを有し、焼結窒化アルミニウムブールは少なくとも98%の相対密度および少なくとも98重量%の純度の窒化アルミニウムを含む方法。【選択図】なし
POLYCRYSTALLINE ALUMINUM MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a polycrystalline aluminum substrate high in relative density without using a binder which affects on physical properties.SOLUTION: There is provided a method having a process for compressing aluminum nitride powder for forming a compressed aluminum nitride slag and a process of sintering the compressed aluminum nitride slag by heating under no-oxygen environment with heating speed of 0.1°C/min to 5°C/min. to a maximum temperature of at least 1500°C for forming an aluminum nitride sintered pool having thickness of at least 5 cm and diameter or length or width of at least 5 cm, and the sintered aluminum nitride pool contains aluminum nitride with relative density of at least 98% and purity of at least 98 wt.%.SELECTED DRAWING: None
【課題】物理的特性に影響を及ぼす結合剤を使用せず、相対密度の高い多結晶窒化アルミニウム基板の製造方法の提供。【解決手段】加圧窒化アルミニウムスラグを形成するために、窒化アルミニウム粉を加圧する工程と、少なくとも5cmの厚さと少なくとも5cmの直径または長さまたは幅を有する窒化アルミニウム焼結ブールを形成するために、非酸素環境下で0.1℃/分〜5℃/分の加熱速度で少なくとも1500℃の最高温度まで加熱することにより、加圧窒化アルミニウムスラグを焼結する工程とを有し、焼結窒化アルミニウムブールは少なくとも98%の相対密度および少なくとも98重量%の純度の窒化アルミニウムを含む方法。【選択図】なし
POLYCRYSTALLINE ALUMINUM MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
多結晶窒化アルミニウム材料およびその製造方法
BAXTER MOODY (Autor:in) / RAFAEL DALMAU (Autor:in) / DAVID HENSHALL (Autor:in) / RAOUL SCHLESSER (Autor:in)
04.11.2016
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
POLYCRYSTALLINE DIAMOND BODY, MANUFACTURING METHOD THEREFOR, AND TOOL
Europäisches Patentamt | 2019
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