Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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SUBSTRATE CONTAINER WITH MAGNETIC LATCH ASSISTANCE
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate container with a magnetic latch assistance.SOLUTION: A substrate container with a magnetic latch assistance is provided. A substrate conveyer includes a mechanical door latch added with a magnetic coupler which assists sealing of a container door to a container shell. By improved installation, leakage speed through the door gasket can be lowered, and gasket sealing can be enhanced without increasing complexity of the mechanical door latch. The magnetic coupler is located above the shell and door at a position between the latch positions of the mechanical door latch near the door gasket. When the door is hooked in the shell, a magnetic force provides an additional compressive force to the gasket in a segment along the gasket located between the latch positions of the mechanical door latch. In a specific case, the coupled magnetic couplers are not in contact with each other, so that magnetic coupling is hard to generate particles additionally.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】磁気ラッチ補助を備える基板容器を提供する。【解決手段】磁気ラッチ補助を備える基板容器。基板搬送装置は、容器ドアを容器シェルへシーリングすることを補助する磁気カプラを追加した機械的ドアラッチを含む。改良された据付により、ドアガスケットを通じた漏出速度を低下させることができ、かつ機械的ドアラッチの複雑さを増すことなくガスケットシーリングを向上させることができる。磁気カプラは、ドアガスケットの近くの機械的ドアラッチのラッチ位置間の位置でシェル及びドア上に位置する。ドアがシェル内へ掛け止めされると、磁力が、機械的ドアラッチのラッチ位置間にあるガスケットに沿ったセグメントでガスケットに対して追加的な圧縮力を提供する。特定の場合において、磁気結合が追加的な粒子生成をしにくいように、結合した磁気カプラが互いに接触しない。【選択図】図１
SUBSTRATE CONTAINER WITH MAGNETIC LATCH ASSISTANCE
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate container with a magnetic latch assistance.SOLUTION: A substrate container with a magnetic latch assistance is provided. A substrate conveyer includes a mechanical door latch added with a magnetic coupler which assists sealing of a container door to a container shell. By improved installation, leakage speed through the door gasket can be lowered, and gasket sealing can be enhanced without increasing complexity of the mechanical door latch. The magnetic coupler is located above the shell and door at a position between the latch positions of the mechanical door latch near the door gasket. When the door is hooked in the shell, a magnetic force provides an additional compressive force to the gasket in a segment along the gasket located between the latch positions of the mechanical door latch. In a specific case, the coupled magnetic couplers are not in contact with each other, so that magnetic coupling is hard to generate particles additionally.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】磁気ラッチ補助を備える基板容器を提供する。【解決手段】磁気ラッチ補助を備える基板容器。基板搬送装置は、容器ドアを容器シェルへシーリングすることを補助する磁気カプラを追加した機械的ドアラッチを含む。改良された据付により、ドアガスケットを通じた漏出速度を低下させることができ、かつ機械的ドアラッチの複雑さを増すことなくガスケットシーリングを向上させることができる。磁気カプラは、ドアガスケットの近くの機械的ドアラッチのラッチ位置間の位置でシェル及びドア上に位置する。ドアがシェル内へ掛け止めされると、磁力が、機械的ドアラッチのラッチ位置間にあるガスケットに沿ったセグメントでガスケットに対して追加的な圧縮力を提供する。特定の場合において、磁気結合が追加的な粒子生成をしにくいように、結合した磁気カプラが互いに接触しない。【選択図】図１
SUBSTRATE CONTAINER WITH MAGNETIC LATCH ASSISTANCE
磁気ラッチ補助を備える基板容器
MATTHEW A FULLER (Autor:in) / MURALI BANDREDDI (Autor:in)
20.04.2017
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch