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To provide an alumina sintered body that has corrosion resistance, has a low dielectric loss characteristic, and can uniformly form a dense film.SOLUTION: The alumina sintered body according to the present invention is an alumina sintered body of an Al content in terms of AlOof 70 wt.% or higher, and is characterized in that a Zr content in terms of ZrOis 30 wt.% or lower, a Si content in terms of SiOis not lower than 170 ppm and not higher than 600 ppm, and Na content in terms of NaO is not higher than 27 ppm.SELECTED DRAWING: None
【課題】発明は、耐食性を有する共に、低誘電損失特性を有し、また緻密な膜を均一に成膜することができるアルミナ質焼結体を提供する。【解決手段】本発明にかかるアルミナ質焼結体は、ＡｌをＡｌ２Ｏ３換算した含有量が７０ｗｔ％以上のアルミナ質焼結体であって、ＺｒをＺｒＯ２換算した含有量が３０ｗｔ％以下、ＳｉをＳｉＯ２換算した含有量が１７０ｐｐｍ以上６００ｐｐｍ以下、ＮａをＮａ２Ｏ換算した含有量が２７ｐｐｍ以下であることを特徴としている。【選択図】なし
To provide an alumina sintered body that has corrosion resistance, has a low dielectric loss characteristic, and can uniformly form a dense film.SOLUTION: The alumina sintered body according to the present invention is an alumina sintered body of an Al content in terms of AlOof 70 wt.% or higher, and is characterized in that a Zr content in terms of ZrOis 30 wt.% or lower, a Si content in terms of SiOis not lower than 170 ppm and not higher than 600 ppm, and Na content in terms of NaO is not higher than 27 ppm.SELECTED DRAWING: None
【課題】発明は、耐食性を有する共に、低誘電損失特性を有し、また緻密な膜を均一に成膜することができるアルミナ質焼結体を提供する。【解決手段】本発明にかかるアルミナ質焼結体は、ＡｌをＡｌ２Ｏ３換算した含有量が７０ｗｔ％以上のアルミナ質焼結体であって、ＺｒをＺｒＯ２換算した含有量が３０ｗｔ％以下、ＳｉをＳｉＯ２換算した含有量が１７０ｐｐｍ以上６００ｐｐｍ以下、ＮａをＮａ２Ｏ換算した含有量が２７ｐｐｍ以下であることを特徴としている。【選択図】なし
ALUMINA SINTERED BODY
アルミナ質焼結体
YOSHIDA SAYU (Autor:in)
02.04.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
ALUMINA SINTERED BODY PRODUCTION METHOD AND ALUMINA SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2022
METHOD FOR PRODUCING ALUMINA SINTERED BODY AND ALUMINA SINTERED BODY
| Europäisches Patentamt | 2021
Method for manufacturing alumina sintered body and alumina sintered body
| Europäisches Patentamt | 2017
METHOD FOR MANUFACTURING ALUMINA SINTERED BODY AND ALUMINA SINTERED BODY
Europäisches Patentamt | 2019