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LAMINATED PIEZOELECTRIC FILM
To provide a laminated piezoelectric film that reduces a lead content, reduces environmental load, has a dense film quality and high piezoelectric characteristics.SOLUTION: In a piezoelectric film in which a PZT layer and a lead-free layer are alternately laminated on an electrode of a substrate, the number of laminated layers is at least 3, the thickness of the PZT layer is at least 30 nm, and the thickness of the lead-free layer is 30 nm or more and 400 nm or less. The lead-free layer is preferably a metal oxide layer having a perovskite structure which is either a (Bi, Na) TiO-(Bi, K) TiOlayer, a (K, Na) NbOlayer, or a (Bi, Na) TiO-BaTiOlayer.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】鉛含有量を少なくして環境負荷を低減し、かつ緻密な膜質と高い圧電特性を有する積層圧電体膜を提供する。【解決手段】基板の電極上にＰＺＴ層と非鉛層とが交互に積層された圧電体膜であって、積層された層数は少なくとも３であり、ＰＺＴ層の厚さは少なくとも３０ｎｍであり、かつ非鉛層の厚さは３０ｎｍ以上４００ｎｍ以下である。非鉛層が（Ｂｉ，Ｎａ）ＴｉＯ3−（Ｂｉ，Ｋ）ＴｉＯ3層、（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ3層又は（Ｂｉ，Ｎａ）ＴｉＯ3−ＢａＴｉＯ3層のいずれかのペロブスカイト構造の金属酸化物層であることが好ましい。【選択図】図３
LAMINATED PIEZOELECTRIC FILM
To provide a laminated piezoelectric film that reduces a lead content, reduces environmental load, has a dense film quality and high piezoelectric characteristics.SOLUTION: In a piezoelectric film in which a PZT layer and a lead-free layer are alternately laminated on an electrode of a substrate, the number of laminated layers is at least 3, the thickness of the PZT layer is at least 30 nm, and the thickness of the lead-free layer is 30 nm or more and 400 nm or less. The lead-free layer is preferably a metal oxide layer having a perovskite structure which is either a (Bi, Na) TiO-(Bi, K) TiOlayer, a (K, Na) NbOlayer, or a (Bi, Na) TiO-BaTiOlayer.SELECTED DRAWING: Figure 3
【課題】鉛含有量を少なくして環境負荷を低減し、かつ緻密な膜質と高い圧電特性を有する積層圧電体膜を提供する。【解決手段】基板の電極上にＰＺＴ層と非鉛層とが交互に積層された圧電体膜であって、積層された層数は少なくとも３であり、ＰＺＴ層の厚さは少なくとも３０ｎｍであり、かつ非鉛層の厚さは３０ｎｍ以上４００ｎｍ以下である。非鉛層が（Ｂｉ，Ｎａ）ＴｉＯ3−（Ｂｉ，Ｋ）ＴｉＯ3層、（Ｋ，Ｎａ）ＮｂＯ3層又は（Ｂｉ，Ｎａ）ＴｉＯ3−ＢａＴｉＯ3層のいずれかのペロブスカイト構造の金属酸化物層であることが好ましい。【選択図】図３
LAMINATED PIEZOELECTRIC FILM
積層圧電体膜
TSUJIUCHI NAOTO (Autor:in) / DOI TOSHIHIRO (Autor:in) / SOYAMA NOBUYUKI (Autor:in)
09.04.2020
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
| Europäisches Patentamt | 2020
PIEZOELECTRIC COMPOSITION, PIEZOELECTRIC DEVICE, AND LAMINATED ACTUATOR
| Europäisches Patentamt | 2024