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ULTRASONIC TRANSDUCER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
To provide a manufacturing method of an ultrasonic transducer that enables a thick piezoelectric ceramic film to be efficiently formed and enables a highly reliable ultrasonic transducer to be manufactured.SOLUTION: An ultrasonic transducer 10 of the present invention is manufactured through a piezoelectric ceramic thin film forming step and a piezoelectric ceramic thick film forming step. In the piezoelectric ceramic thin film forming step, a piezoelectric ceramic thin film 13 is formed by applying a sol-gel solution 31 for forming a piezoelectric ceramic thin film including no piezoelectric ceramic powder 16 onto the main surface 11a of a substrate 11 made of a metal material and heating the sol-gel solution 31. In the piezoelectric ceramic thick film forming step, the piezoelectric ceramic thick film 14 thicker than the piezoelectric ceramic thin film 13 is formed by applying a sol-gel solution 32 for forming the piezoelectric ceramic thick film including a piezoelectric ceramic powder 16 onto piezoelectric ceramic thin film 13 and heating the sol-gel solution 32.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】厚い圧電セラミックス膜を効率良く形成することができ、かつ信頼性が高い超音波振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の超音波振動子１０は、圧電セラミックス薄膜形成工程と圧電セラミックス厚膜形成工程とを経て製造される。圧電セラミックス薄膜形成工程では、金属材料からなる基材１１の主面１１ａ上に、圧電セラミックス粉１６を含まない圧電セラミックス薄膜形成用ゾルゲル液３１を塗布して加熱することにより、圧電セラミックス薄膜１３を形成する。圧電セラミックス厚膜形成工程では、圧電セラミックス薄膜１３上に、圧電セラミックス粉１６を含む圧電セラミックス厚膜形成用ゾルゲル液３２を塗布して加熱することにより、圧電セラミックス薄膜１３よりも厚い圧電セラミックス厚膜１４を形成する。【選択図】図２
ULTRASONIC TRANSDUCER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
To provide a manufacturing method of an ultrasonic transducer that enables a thick piezoelectric ceramic film to be efficiently formed and enables a highly reliable ultrasonic transducer to be manufactured.SOLUTION: An ultrasonic transducer 10 of the present invention is manufactured through a piezoelectric ceramic thin film forming step and a piezoelectric ceramic thick film forming step. In the piezoelectric ceramic thin film forming step, a piezoelectric ceramic thin film 13 is formed by applying a sol-gel solution 31 for forming a piezoelectric ceramic thin film including no piezoelectric ceramic powder 16 onto the main surface 11a of a substrate 11 made of a metal material and heating the sol-gel solution 31. In the piezoelectric ceramic thick film forming step, the piezoelectric ceramic thick film 14 thicker than the piezoelectric ceramic thin film 13 is formed by applying a sol-gel solution 32 for forming the piezoelectric ceramic thick film including a piezoelectric ceramic powder 16 onto piezoelectric ceramic thin film 13 and heating the sol-gel solution 32.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】厚い圧電セラミックス膜を効率良く形成することができ、かつ信頼性が高い超音波振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】本発明の超音波振動子１０は、圧電セラミックス薄膜形成工程と圧電セラミックス厚膜形成工程とを経て製造される。圧電セラミックス薄膜形成工程では、金属材料からなる基材１１の主面１１ａ上に、圧電セラミックス粉１６を含まない圧電セラミックス薄膜形成用ゾルゲル液３１を塗布して加熱することにより、圧電セラミックス薄膜１３を形成する。圧電セラミックス厚膜形成工程では、圧電セラミックス薄膜１３上に、圧電セラミックス粉１６を含む圧電セラミックス厚膜形成用ゾルゲル液３２を塗布して加熱することにより、圧電セラミックス薄膜１３よりも厚い圧電セラミックス厚膜１４を形成する。【選択図】図２
ULTRASONIC TRANSDUCER AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
超音波振動子及びその製造方法
HAYASHI ATSUHIRO (Autor:in) / OKADA OSANARI (Autor:in) / MIYAMOTO TOSHIAKI (Autor:in)
04.02.2021
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
H10N
/
B05D
PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
,
Verfahren zum Aufbringen von Flüssigkeiten oder von anderen fließfähigen Stoffen auf Oberflächen allgemein
/
B28B
Formgeben von Ton oder anderen keramischen Stoffzusammensetzungen, Schlacke oder von Mischungen, die zementartiges Material enthalten, z.B. Putzmörtel
,
SHAPING CLAY OR OTHER CERAMIC COMPOSITIONS, SLAG OR MIXTURES CONTAINING CEMENTITIOUS MATERIAL, e.g. PLASTER
/
C04B
Kalk
,
LIME
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