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To provide alumina ceramics having small secondary electron emission coefficient and suitable for a member of a high-frequency generation apparatus, a plasma generation apparatus, etc.SOLUTION: Alumina ceramics include alumina as the main component, alkaline earth metals, and at least two kinds of elements from elements belonging to the third period, the fourth period or the fifth period, wherein all of the alkaline earth metals and elements belonging to the third period, the fourth period or the fifth period have a first ionization energy larger than that of aluminum, a difference in electronegativity between the alkaline earth metals and elements belonging to the third period, the fourth period or the fifth period is 0 or over and 0.6 or under, and a ratio (x/y) of an area x of a grain boundary toward an area y of a crystal grain in alumina ceramics is 0.0001-0.001.SELECTED DRAWING: None
【課題】二次電子放出係数が小さく、高周波発生装置およびプラズマ生成装置等の部材として好適なアルミナセラミックスを提供する。【解決手段】アルミナを主成分とし、アルカリ土類金属と、第３周期、第４周期または第５周期に属する元素との少なくとも２種類の元素を含有し、前記アルカリ土類金属と、前記第３周期、第４周期または第５周期に属する元素とがいずれもアルミニウムより大きい第一イオン化エネルギーを有し、前記アルカリ土類金属と、前記第３周期、第４周期または第５周期に属する元素との電気陰性度の差が０以上０．６以下であり、アルミナセラミックス中の結晶粒の面積ｙに対する結晶粒界の面積ｘの比（ｘ／ｙ）が０．０００１～０．００１であることを特徴とするアルミナセラミックス。【選択図】なし
To provide alumina ceramics having small secondary electron emission coefficient and suitable for a member of a high-frequency generation apparatus, a plasma generation apparatus, etc.SOLUTION: Alumina ceramics include alumina as the main component, alkaline earth metals, and at least two kinds of elements from elements belonging to the third period, the fourth period or the fifth period, wherein all of the alkaline earth metals and elements belonging to the third period, the fourth period or the fifth period have a first ionization energy larger than that of aluminum, a difference in electronegativity between the alkaline earth metals and elements belonging to the third period, the fourth period or the fifth period is 0 or over and 0.6 or under, and a ratio (x/y) of an area x of a grain boundary toward an area y of a crystal grain in alumina ceramics is 0.0001-0.001.SELECTED DRAWING: None
【課題】二次電子放出係数が小さく、高周波発生装置およびプラズマ生成装置等の部材として好適なアルミナセラミックスを提供する。【解決手段】アルミナを主成分とし、アルカリ土類金属と、第３周期、第４周期または第５周期に属する元素との少なくとも２種類の元素を含有し、前記アルカリ土類金属と、前記第３周期、第４周期または第５周期に属する元素とがいずれもアルミニウムより大きい第一イオン化エネルギーを有し、前記アルカリ土類金属と、前記第３周期、第４周期または第５周期に属する元素との電気陰性度の差が０以上０．６以下であり、アルミナセラミックス中の結晶粒の面積ｙに対する結晶粒界の面積ｘの比（ｘ／ｙ）が０．０００１～０．００１であることを特徴とするアルミナセラミックス。【選択図】なし
ALUMINA CERAMICS
アルミナセラミックス
FUKAZAWA YUJI (Autor:in)
07.04.2022
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
Composition for alumina ceramics, alumina ceramics and preparation method of alumina ceramics
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ALUMINA CERAMICS AND METHOD FOR PRODUCING ALUMINA CERAMICS
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