Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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Li Li-CONTAINING PHOSPHATE COMPOUND SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING SAID Li-CONTAINING PHOSPHATE COMPOUND SINTERED BODY
2차 전지 등의 고체 전해질로서 유용한 Li 함유 인산염 화합물 박막을 타깃의 균열이나 이상 방전이 발생하는 일 없이 안정되고, 높은 성막 속도로 성막할 수 있고, 높은 상대 밀도와, 미세한 결정 입경을 겸비함과 함께, 기공 등의 결함(공극)이 억제된 Li 함유 인산염 화합물 소결체를 제공하는 것이다. 본 발명의 Li 함유 인산염 화합물 소결체는, 소결체 내부의 단면 1㎟ 영역 중에 50㎛ 이상의 결함이 없고, 평균 결정 입경이 15㎛ 이하이고, 상대 밀도가 85％ 이상인 것에 요지를 갖는다.
Li Li-CONTAINING PHOSPHATE COMPOUND SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING SAID Li-CONTAINING PHOSPHATE COMPOUND SINTERED BODY
2차 전지 등의 고체 전해질로서 유용한 Li 함유 인산염 화합물 박막을 타깃의 균열이나 이상 방전이 발생하는 일 없이 안정되고, 높은 성막 속도로 성막할 수 있고, 높은 상대 밀도와, 미세한 결정 입경을 겸비함과 함께, 기공 등의 결함(공극)이 억제된 Li 함유 인산염 화합물 소결체를 제공하는 것이다. 본 발명의 Li 함유 인산염 화합물 소결체는, 소결체 내부의 단면 1㎟ 영역 중에 50㎛ 이상의 결함이 없고, 평균 결정 입경이 15㎛ 이하이고, 상대 밀도가 85％ 이상인 것에 요지를 갖는다.
Li Li-CONTAINING PHOSPHATE COMPOUND SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR MANUFACTURING SAID Li-CONTAINING PHOSPHATE COMPOUND SINTERED BODY
Li 함유 인산염 화합물 소결체 및 스퍼터링 타깃, 및 그 제조 방법
16.08.2016
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
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Garnet compound, sintered body and sputtering target containing same
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Garnet compound, sintered body and sputtering target containing same
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GARNET COMPOUND, SINTERED BODY AND SPUTTERING TARGET CONTAINING SAME
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NOVEL GARNET COMPOUND, SINTERED BODY CONTAINING SAME, AND SPUTTERING TARGET
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