Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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MULLITE SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME AND COMPOSITE SUBSTRATE
본 발명의 멀라이트 소결체는, 불순물 원소의 함유량이 1 질량% 이하인 멀라이트 소결체로서, 멀라이트 소결 입자의 평균 입자 직경이 8 ㎛ 이하이고, 연마 마무리한 표면에 존재하는 기공의 최대부 길이의 평균이 0.4 ㎛ 이하인 것이다. 상기 표면의 중심선 평균 거칠기(Ra)는 3 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면의 최대 높이(Rp)는 30 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면에 존재하는 기공수는, 4 ㎛×4 ㎛의 면적당, 10개 이하인 것이 바람직하다.
A mullite sintered body according to the present invention has an impurity element content of 1% by mass or less and contains sintered mullite grains having an average grain size of 8 μm or less. When a surface of the mullite sintered body is finished by polishing, pores in the surface have an average largest pore length of 0.4 μm or less. The surface preferably has a center line average surface roughness (Ra) of 3 nm or less. The surface preferably has a maximum peak height (Rp) of 30 nm or less. The number of pores in the surface is preferably 10 or less per unit area of 4 μm×4 μm.
MULLITE SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME AND COMPOSITE SUBSTRATE
본 발명의 멀라이트 소결체는, 불순물 원소의 함유량이 1 질량% 이하인 멀라이트 소결체로서, 멀라이트 소결 입자의 평균 입자 직경이 8 ㎛ 이하이고, 연마 마무리한 표면에 존재하는 기공의 최대부 길이의 평균이 0.4 ㎛ 이하인 것이다. 상기 표면의 중심선 평균 거칠기(Ra)는 3 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면의 최대 높이(Rp)는 30 ㎚ 이하인 것이 바람직하다. 상기 표면에 존재하는 기공수는, 4 ㎛×4 ㎛의 면적당, 10개 이하인 것이 바람직하다.
A mullite sintered body according to the present invention has an impurity element content of 1% by mass or less and contains sintered mullite grains having an average grain size of 8 μm or less. When a surface of the mullite sintered body is finished by polishing, pores in the surface have an average largest pore length of 0.4 μm or less. The surface preferably has a center line average surface roughness (Ra) of 3 nm or less. The surface preferably has a maximum peak height (Rp) of 30 nm or less. The number of pores in the surface is preferably 10 or less per unit area of 4 μm×4 μm.
MULLITE SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME AND COMPOSITE SUBSTRATE
멀라이트 소결체, 그 제법 및 복합 기판
17.11.2016
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
MULLITE SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
| Europäisches Patentamt | 2016
MULLITE SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
| Europäisches Patentamt | 2016
Mullite sintered body, method for producing the same, and composite substrate
| Europäisches Patentamt | 2017
MULLITE SINTERED COMPACT, METHOD FOR PRODUCING SAME, AND COMPOSITE SUBSTRATE
| Europäisches Patentamt | 2015
MULLITE-CONTAINING SINTERED BODY METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND COMPOSITE SUBSTRATE
| Europäisches Patentamt | 2017