Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
DEPOSITION MATERIAL FOR PHYSICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
(과제) 산화마그네슘과 산화마그네슘 이외의 알칼리 토류금속 산화물을 포함하면서도 흡습성이 낮고, 또한 전자빔 증착법이나 스퍼터링법 등의 물리적 기상 성장법에 의해 2 차 전자 방출 계수가 높은 막을 제조할 수 있는 성막용 재료를 제공한다. (해결 수단) 산화마그네슘과 산화마그네슘 이외의 알칼리 토류금속 산화물을, 마그네슘과 마그네슘 이외의 알칼리 토류금속의 몰비로서 98:2∼80:20 의 범위가 되는 비율로 포함하고, 상대 밀도가 95.0∼99.9 % 의 범위에 있는 복합 알칼리 토류금속 산화물로서, 추가로 가수가 3 가, 4 가 또는 5 가 중 어느 것인 적어도 하나의 금속 원소의 산화물을, 상기의 알칼리 토류금속 1 몰에 대해, 그 금속 원소의 양으로서 0.0002∼0.1 몰의 범위가 되는 양으로 함유하는 복합 알칼리 토류금속 산화물.
DEPOSITION MATERIAL FOR PHYSICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
(과제) 산화마그네슘과 산화마그네슘 이외의 알칼리 토류금속 산화물을 포함하면서도 흡습성이 낮고, 또한 전자빔 증착법이나 스퍼터링법 등의 물리적 기상 성장법에 의해 2 차 전자 방출 계수가 높은 막을 제조할 수 있는 성막용 재료를 제공한다. (해결 수단) 산화마그네슘과 산화마그네슘 이외의 알칼리 토류금속 산화물을, 마그네슘과 마그네슘 이외의 알칼리 토류금속의 몰비로서 98:2∼80:20 의 범위가 되는 비율로 포함하고, 상대 밀도가 95.0∼99.9 % 의 범위에 있는 복합 알칼리 토류금속 산화물로서, 추가로 가수가 3 가, 4 가 또는 5 가 중 어느 것인 적어도 하나의 금속 원소의 산화물을, 상기의 알칼리 토류금속 1 몰에 대해, 그 금속 원소의 양으로서 0.0002∼0.1 몰의 범위가 되는 양으로 함유하는 복합 알칼리 토류금속 산화물.
DEPOSITION MATERIAL FOR PHYSICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
물리적 기상 성장법에 사용하는 성막용 재료
08.03.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
Dye Composite Layers by Physical Vapor Deposition
| British Library Online Contents | 1996
USING PHYSICAL VAPOR DEPOSITION TO OPTIMIZE SURFACE PROPERTIES
| British Library Online Contents | 2018
Ion-Beam Assisted, Electron-Beam Physical Vapor Deposition
| British Library Online Contents | 1996
High-Modulus Organic Glasses Prepared by Physical Vapor Deposition
| British Library Online Contents | 2010