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MEMS MEMS HINGES WITH ENHANCED ROTATABILITY
기계적 디바이스(20, 50, 70, 80, 120)가 단단하고 탄력있는 재료로 만들어진 길고 좁은 구성요소(26, 54, 66, 90, 122)를 포함한다. 단단한 프레임(28, 52, 64, 92)은 프레임에 부착되는 구성요소의 적어도 하나의 단부에 고정하고, 빔과 프레임 사이에 구성요소를 따라 세로 방향으로 연장되는 갭을 형성하여, 구성요소가 갭 내에서 자유롭게 움직이도록 구성된다. 단단하고 탄력있는 재료와 상이한 고체 충전재 재료(30, 56, 68, 94, 102, 124)가 구성요소와 프레임 사이의 갭의 적어도 일부분을 충전하여 갭 내에서 구성요소의 제1 모드의 움직임을 허용하지만, 상이한 제2 모드의 움직임을 억제하도록 한다.
A mechanical device includes a long, narrow element made of a rigid, elastic material. A rigid frame is configured to anchor at least one end of the element, which is attached to the frame, and to define a gap running longitudinally along the element between the beam and the frame, so that the element is free to move within the gap. A solid filler material, different from the rigid, elastic material, fills at least a part of the gap between the element and the frame so as to permit a first mode of movement of the element within the gap while inhibiting a different, second mode of movement.
MEMS MEMS HINGES WITH ENHANCED ROTATABILITY
기계적 디바이스(20, 50, 70, 80, 120)가 단단하고 탄력있는 재료로 만들어진 길고 좁은 구성요소(26, 54, 66, 90, 122)를 포함한다. 단단한 프레임(28, 52, 64, 92)은 프레임에 부착되는 구성요소의 적어도 하나의 단부에 고정하고, 빔과 프레임 사이에 구성요소를 따라 세로 방향으로 연장되는 갭을 형성하여, 구성요소가 갭 내에서 자유롭게 움직이도록 구성된다. 단단하고 탄력있는 재료와 상이한 고체 충전재 재료(30, 56, 68, 94, 102, 124)가 구성요소와 프레임 사이의 갭의 적어도 일부분을 충전하여 갭 내에서 구성요소의 제1 모드의 움직임을 허용하지만, 상이한 제2 모드의 움직임을 억제하도록 한다.
A mechanical device includes a long, narrow element made of a rigid, elastic material. A rigid frame is configured to anchor at least one end of the element, which is attached to the frame, and to define a gap running longitudinally along the element between the beam and the frame, so that the element is free to move within the gap. A solid filler material, different from the rigid, elastic material, fills at least a part of the gap between the element and the frame so as to permit a first mode of movement of the element within the gap while inhibiting a different, second mode of movement.
MEMS MEMS HINGES WITH ENHANCED ROTATABILITY
회전 성능이 강화된 MEMS 힌지
15.06.2017
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
G02B
Optische Elemente, Systeme oder Geräte
,
OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
/
B81B
Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente
,
MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
/
B81C
Verfahren oder Geräte besonders ausgebildet zur Herstellung oder Behandlung von Mikrostrukturbauelementen oder -systemen
,
PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
/
E05D
Scharniere oder andere Aufhängevorrichtungen für Türen, Fenster oder Flügel
,
HINGES OR OTHER SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS, OR WINGS
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