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METHOD OF FABRICATING SILICON CARBIDE POWDER
실시예에 따른 실리콘 카바이드 파우더를 제조하는 방법은, 실리콘을 포함하는 실리콘 소오스 및 고체 탄소 소오스 또는 유기화합물을 포함하는 탄소 소오스를 혼합하여, 혼합물을 형성하는 단계; 상기 혼합물을 반응시키는 단계; 및 상기 반응을 제어하는 단계를 포함하고, 상기 반응을 제어하는 단계는 프로세스 가스 또는 반응 생성물 가스를 투입한다.
A method of fabricating silicon carbide powder according to the embodiment comprises the steps of preparing a mixture by mixing a silicon source comprising silicon with a carbon source comprising a solid carbon source or an organic carbon compound; reacting the mixture; and controlling the reacting of the mixture, wherein the step of controlling the reacting comprises a step of supplying process gas or reaction product gas.
METHOD OF FABRICATING SILICON CARBIDE POWDER
실시예에 따른 실리콘 카바이드 파우더를 제조하는 방법은, 실리콘을 포함하는 실리콘 소오스 및 고체 탄소 소오스 또는 유기화합물을 포함하는 탄소 소오스를 혼합하여, 혼합물을 형성하는 단계; 상기 혼합물을 반응시키는 단계; 및 상기 반응을 제어하는 단계를 포함하고, 상기 반응을 제어하는 단계는 프로세스 가스 또는 반응 생성물 가스를 투입한다.
A method of fabricating silicon carbide powder according to the embodiment comprises the steps of preparing a mixture by mixing a silicon source comprising silicon with a carbon source comprising a solid carbon source or an organic carbon compound; reacting the mixture; and controlling the reacting of the mixture, wherein the step of controlling the reacting comprises a step of supplying process gas or reaction product gas.
METHOD OF FABRICATING SILICON CARBIDE POWDER
실리콘 카바이드 파우더의 제조방법
12.09.2018
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME