Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC MEMBER MEMBER FOR USE IN SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC MEMBER
본 발명의 세라믹스 부재(30)는, 산화마그네슘에 Al, N 성분이 고용된 Mg(Al)O(N)를 주상으로 하는 세라믹스 기체(32)와, 세라믹스 기체(32)의 일부에 배치되어 질화물, 탄화물, 탄질화물 및 금속 중 어느 하나 이상을 전극 성분으로서 포함하는 전극(34)을 구비한다. 이 세라믹스 기체(32)는, CuKα선을 이용했을 때의 상기 Mg(Al)O(N)의 (111)면 또는 (200)면, 또는(220)면의 XRD 피크가 각각 산화마그네슘의 입방정의 피크와 질화알루미늄의 입방정의 피크 사이인 2θ=36.9 ~ 39°, 42.9 ~ 44.8°, 62.3 ~ 65.2°에 나타나는 것으로 하더라도 좋다.
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본 발명의 세라믹스 부재(30)는, 산화마그네슘에 Al, N 성분이 고용된 Mg(Al)O(N)를 주상으로 하는 세라믹스 기체(32)와, 세라믹스 기체(32)의 일부에 배치되어 질화물, 탄화물, 탄질화물 및 금속 중 어느 하나 이상을 전극 성분으로서 포함하는 전극(34)을 구비한다. 이 세라믹스 기체(32)는, CuKα선을 이용했을 때의 상기 Mg(Al)O(N)의 (111)면 또는 (200)면, 또는(220)면의 XRD 피크가 각각 산화마그네슘의 입방정의 피크와 질화알루미늄의 입방정의 피크 사이인 2θ=36.9 ~ 39°, 42.9 ~ 44.8°, 62.3 ~ 65.2°에 나타나는 것으로 하더라도 좋다.
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세라믹스 부재, 반도체 제조 장치용 부재 및 세라믹스 부재의 제조 방법
11.09.2019
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
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CERAMIC MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING THE CERAMIC MEMBER
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| Europäisches Patentamt | 2018
METHOD FOR PRODUCING CERAMIC MEMBER, CERAMIC MOLDED BODY AND SYSTEM FOR PRODUCING CERAMIC MEMBER
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