Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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CERAMIC MATERIAL AND SPUTTERING-TARGET MEMBER
본 발명의 세라믹스 재료는, 마그네슘, 지르코늄, 리튬 및 산소를 주성분으로 하는 세라믹스 재료로서, 산화마그네슘에 산화지르코늄 및 산화리튬이 고용(固溶)된 고용체의 결정상을 주상(主相)으로 하는 것이다. 이 고용체는, CuKα선을 이용했을 때의 (200)면의 XRD 피크가 산화마그네슘의 입방정(立方晶)의 피크보다 작은 2θ=42.89° 이하에 나타나는 것이 바람직하고, 2θ=42.38°∼42.89°에 나타나는 것이 보다 바람직하며, 2θ=42.82°∼42.89°에 나타나는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 세라믹스 재료는 Li와 Zr의 몰비 Li/Zr이 1.96 이상 2.33 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.
A ceramic material of the present invention contains magnesium, zirconium, lithium, and oxygen as main components. The crystal phase of a solid solution obtained by dissolving zirconium oxide and lithium oxide in magnesium oxide is a main phase. The XRD peak of a (200) plane of the solid solution with CuKα rays preferably appears at 2θ=42.89° or less which is smaller than an angle at which a peak of a cubic crystal of magnesium oxide appears. The XRD peak more preferably appears at 2θ=42.38° to 42.89° and further preferably at 2θ=42.82° to 42.89°. In the ceramic material, the molar ratio Li/Zr of Li to Zr is preferably in the range of 1.96 or more and 2.33 or less.
CERAMIC MATERIAL AND SPUTTERING-TARGET MEMBER
본 발명의 세라믹스 재료는, 마그네슘, 지르코늄, 리튬 및 산소를 주성분으로 하는 세라믹스 재료로서, 산화마그네슘에 산화지르코늄 및 산화리튬이 고용(固溶)된 고용체의 결정상을 주상(主相)으로 하는 것이다. 이 고용체는, CuKα선을 이용했을 때의 (200)면의 XRD 피크가 산화마그네슘의 입방정(立方晶)의 피크보다 작은 2θ=42.89° 이하에 나타나는 것이 바람직하고, 2θ=42.38°∼42.89°에 나타나는 것이 보다 바람직하며, 2θ=42.82°∼42.89°에 나타나는 것이 더욱 바람직하다. 또한, 세라믹스 재료는 Li와 Zr의 몰비 Li/Zr이 1.96 이상 2.33 이하의 범위에 있는 것이 바람직하다.
A ceramic material of the present invention contains magnesium, zirconium, lithium, and oxygen as main components. The crystal phase of a solid solution obtained by dissolving zirconium oxide and lithium oxide in magnesium oxide is a main phase. The XRD peak of a (200) plane of the solid solution with CuKα rays preferably appears at 2θ=42.89° or less which is smaller than an angle at which a peak of a cubic crystal of magnesium oxide appears. The XRD peak more preferably appears at 2θ=42.38° to 42.89° and further preferably at 2θ=42.82° to 42.89°. In the ceramic material, the molar ratio Li/Zr of Li to Zr is preferably in the range of 1.96 or more and 2.33 or less.
CERAMIC MATERIAL AND SPUTTERING-TARGET MEMBER
세라믹스 재료 및 스퍼터링 타겟 부재
14.04.2020
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
/
C23C
Beschichten metallischer Werkstoffe
,
COATING METALLIC MATERIAL
/
G11B
Informationsspeicherung mit Relativbewegung zwischen Aufzeichnungsträger und Wandler
,
INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
/
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
H10N