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CARBONATED TANTALUM COATING MATERIAL
본 발명은 탄화탄탈 코팅 재료에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 탄소 기재; 및 상기 탄소 기재 상에 형성된 탄화탄탈 코팅;를 포함하고, 상기 탄소 기재의 열팽창계수 및 상기 탄화탄탈 코팅의 열팽창계수의 차이가 1.0×10/℃ 이상인 것인, 탄화탄탈 코팅 재료에 관한 것이다.
The present disclosure relates to a tantalum carbide coating material, and more specifically, to a tantalum carbide coating material comprising: a carbon substrate; and a tantalum carbide coating formed on the carbon substrate, wherein a thermal expansion coefficient difference between the carbon substrate and the tantalum carbide coating is 1.0 × 10-6/°C or more.
CARBONATED TANTALUM COATING MATERIAL
본 발명은 탄화탄탈 코팅 재료에 관한 것으로서, 더욱 자세하게는 탄소 기재; 및 상기 탄소 기재 상에 형성된 탄화탄탈 코팅;를 포함하고, 상기 탄소 기재의 열팽창계수 및 상기 탄화탄탈 코팅의 열팽창계수의 차이가 1.0×10/℃ 이상인 것인, 탄화탄탈 코팅 재료에 관한 것이다.
The present disclosure relates to a tantalum carbide coating material, and more specifically, to a tantalum carbide coating material comprising: a carbon substrate; and a tantalum carbide coating formed on the carbon substrate, wherein a thermal expansion coefficient difference between the carbon substrate and the tantalum carbide coating is 1.0 × 10-6/°C or more.
CARBONATED TANTALUM COATING MATERIAL
탄화탄탈 코팅 재료
22.07.2020
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
TANTALUM CARBIDE COATING MATERIAL AND COMPOUND SEMICONDUCTOR GROWTH DEVICE
| Europäisches Patentamt | 2024