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MANUFACTURING METHOD OF ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS
본 발명은 질화알루미늄(AlN) 세라믹스 조성물에 CaCO3·Al2O3·SiO2 글라스가 첨가되어 고용체를 이루는 질화알루미늄 세라믹스 조성물과 그의 제조방법을 개시한다. 특히, 본 발명은 Y2O3 등의 값비싼 희토류를 소결조제로 사용하지 않으면서 테이프캐스팅 등의 후막공정으로 제조되어 소결된 AlN 기판 내부의 잔류 탄소와 잔류 산소의 각 함량을 최소화하고 억제할 수 있음으로써, 기술적 측면에서는 AlN 소결체의 소결성과 열전도도 특성 모두를 개선하는 한편, 경제적 측면에서는 AlN 소결체의 제조단가를 크게 낮출 수 있다.
MANUFACTURING METHOD OF ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS
본 발명은 질화알루미늄(AlN) 세라믹스 조성물에 CaCO3·Al2O3·SiO2 글라스가 첨가되어 고용체를 이루는 질화알루미늄 세라믹스 조성물과 그의 제조방법을 개시한다. 특히, 본 발명은 Y2O3 등의 값비싼 희토류를 소결조제로 사용하지 않으면서 테이프캐스팅 등의 후막공정으로 제조되어 소결된 AlN 기판 내부의 잔류 탄소와 잔류 산소의 각 함량을 최소화하고 억제할 수 있음으로써, 기술적 측면에서는 AlN 소결체의 소결성과 열전도도 특성 모두를 개선하는 한편, 경제적 측면에서는 AlN 소결체의 제조단가를 크게 낮출 수 있다.
ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Europäisches Patentamt | 2021
|ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS COMPOSITION AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Europäisches Patentamt | 2022
|ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS COMPOSITION AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
Europäisches Patentamt | 2023
ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS COMPOSITION AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
Europäisches Patentamt | 2023
ALUMINIUM NITRIDE CERAMICS COMPOSITION AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME
Europäisches Patentamt | 2022
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