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CORDIERITE SINTERED BODY AND PRODUCTION THEREOF AND COMPOSITE SUBSTRATE
본 발명의 코디어라이트질 소결체는, 코디어라이트를 주성분으로 하고, 질화규소 또는 탄화규소를 포함하는 것이다. 이 코디어라이트질 소결체는, 40∼400℃에서의 열팽창계수가 2.4 ppm/℃ 미만이며, 개기공률이 0.5% 이하이고, 평균 결정 입경이 1 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
A cordierite-based sintered body according to the present invention contains cordierite as a main component and silicon nitride or silicon carbide. The cordierite-based sintered body preferably has a thermal expansion coefficient less than 2.4 ppm/° C. at 40° C. to 400° C., an open porosity of 0.5% or less, and an average grain size of 1 μm or less.
CORDIERITE SINTERED BODY AND PRODUCTION THEREOF AND COMPOSITE SUBSTRATE
본 발명의 코디어라이트질 소결체는, 코디어라이트를 주성분으로 하고, 질화규소 또는 탄화규소를 포함하는 것이다. 이 코디어라이트질 소결체는, 40∼400℃에서의 열팽창계수가 2.4 ppm/℃ 미만이며, 개기공률이 0.5% 이하이고, 평균 결정 입경이 1 ㎛ 이하인 것이 바람직하다.
A cordierite-based sintered body according to the present invention contains cordierite as a main component and silicon nitride or silicon carbide. The cordierite-based sintered body preferably has a thermal expansion coefficient less than 2.4 ppm/° C. at 40° C. to 400° C., an open porosity of 0.5% or less, and an average grain size of 1 μm or less.
CORDIERITE SINTERED BODY AND PRODUCTION THEREOF AND COMPOSITE SUBSTRATE
코디어라이트질 소결체, 그 제법 및 복합 기판
24.03.2022
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
CORDIERITE SINTERED BODY AND PRODUCTION THEREOF AND COMPOSITE SUBSTRATE
Europäisches Patentamt | 2017
|Cordierite sintered body, production method therefor, composite substrate, and electronic device
Europäisches Patentamt | 2021
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