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Mn PZT Mn PZT MN-DOPED PZT-BASED PIEZOELECTRIC FILM FORMATION COMPOSITION AND MN-DOPED PZT-BASED PIEZOELECTRIC FILM
Mn 도프의 복합 금속 산화물로 이루어지는 PZT 계 압전체막의 형성에 사용되는 조성물은, 상기 복합 금속 산화물을 구성하는 각 금속 원자를 포함하는 PZT 계 전구체와, 디올과, 폴리비닐피롤리돈을 포함하고, 상기 조성물 중의 금속 원자비를 Pb : Mn : Zr : Ti 로 나타낼 때에, Pb 가 1.00 ∼ 1.20 을 만족하고, Mn 이 0.002 이상 0.05 미만을 만족하고, Zr 이 0.40 ∼ 0.55 를 만족하고, Ti 가 0.45 ∼ 0.60 을 만족하고, 또한 상기 Zr 과 상기 Ti 의 금속 원자비의 합계 비율이 1 이 되는 비율로 상기 PZT 계 전구체를 포함한다.
A composition for forming a PZT-based piezoelectric film formed of Mn-doped composite metal oxides is provided, the composition including: PZT-based precursors containing metal atoms configuring the composite metal oxides; a diol; and polyvinylpyrrolidone, in which when a metal atom ratio in the composition is shown as Pb:Mn:Zr:Ti, the PZT-based precursors are contained so that a metal atom ratio of Pb is satisfied to be from 1.00 to 1.20, a metal atom ratio of Mn is satisfied to be equal to or greater than 0.002 and less than 0.05, a metal atom ratio of Zr is satisfied to be from 0.40 to 0.55, a metal atom ratio of Ti is satisfied to be from 0.45 to 0.60, and the total of Zr and Ti in a metal atom ratio is 1.
Mn PZT Mn PZT MN-DOPED PZT-BASED PIEZOELECTRIC FILM FORMATION COMPOSITION AND MN-DOPED PZT-BASED PIEZOELECTRIC FILM
Mn 도프의 복합 금속 산화물로 이루어지는 PZT 계 압전체막의 형성에 사용되는 조성물은, 상기 복합 금속 산화물을 구성하는 각 금속 원자를 포함하는 PZT 계 전구체와, 디올과, 폴리비닐피롤리돈을 포함하고, 상기 조성물 중의 금속 원자비를 Pb : Mn : Zr : Ti 로 나타낼 때에, Pb 가 1.00 ∼ 1.20 을 만족하고, Mn 이 0.002 이상 0.05 미만을 만족하고, Zr 이 0.40 ∼ 0.55 를 만족하고, Ti 가 0.45 ∼ 0.60 을 만족하고, 또한 상기 Zr 과 상기 Ti 의 금속 원자비의 합계 비율이 1 이 되는 비율로 상기 PZT 계 전구체를 포함한다.
A composition for forming a PZT-based piezoelectric film formed of Mn-doped composite metal oxides is provided, the composition including: PZT-based precursors containing metal atoms configuring the composite metal oxides; a diol; and polyvinylpyrrolidone, in which when a metal atom ratio in the composition is shown as Pb:Mn:Zr:Ti, the PZT-based precursors are contained so that a metal atom ratio of Pb is satisfied to be from 1.00 to 1.20, a metal atom ratio of Mn is satisfied to be equal to or greater than 0.002 and less than 0.05, a metal atom ratio of Zr is satisfied to be from 0.40 to 0.55, a metal atom ratio of Ti is satisfied to be from 0.45 to 0.60, and the total of Zr and Ti in a metal atom ratio is 1.
Mn PZT Mn PZT MN-DOPED PZT-BASED PIEZOELECTRIC FILM FORMATION COMPOSITION AND MN-DOPED PZT-BASED PIEZOELECTRIC FILM
Mn 도프의 PZT 계 압전체막 형성용 조성물 및 Mn 도프의 PZT 계 압전체막
07.04.2022
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
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