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SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
본 발명의 사이알론 소결체는, Si6-zAlzOzN8-z(0<z≤4.2)로 나타내고, 개기공률이 0.1% 이하, 상대 밀도가 99.9% 이상, 또한, X선 회절도에 있어서, 사이알론의 최대 피크의 강도에 대한, 사이알론 이외의 각 성분의 최대 피크의 강도의 총합의 비가 0.005 이하인 것이다.
A SiAlON sintered body according to the present invention is represented by Si6-zAlzOzN8-z (0
SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
본 발명의 사이알론 소결체는, Si6-zAlzOzN8-z(0<z≤4.2)로 나타내고, 개기공률이 0.1% 이하, 상대 밀도가 99.9% 이상, 또한, X선 회절도에 있어서, 사이알론의 최대 피크의 강도에 대한, 사이알론 이외의 각 성분의 최대 피크의 강도의 총합의 비가 0.005 이하인 것이다.
A SiAlON sintered body according to the present invention is represented by Si6-zAlzOzN8-z (0
SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
사이알론 소결체, 그 제조법, 복합 기판 및 전자 디바이스
10.05.2022
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
SIALON SINTERED BODY METHOD FOR PRODUCING THE SAME COMPOSITE SUBSTRATE AND ELECTRONIC DEVICE
Europäisches Patentamt | 2018
|Sialon sintered body, method for producing the same, composite substrate, and electronic device
Europäisches Patentamt | 2019
|SIALON SINTERED BODY, METHOD FOR PRODUCING THE SAME, COMPOSITE SUBSTRATE, AND ELECTRONIC DEVICE
Europäisches Patentamt | 2018
|SIALON SINTERED BODY, PRODUCTION METHOD THEREFOR, COMPOSITE SUBSTRATE, AND ELECTRONIC DEVICE
Europäisches Patentamt | 2018
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