Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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PZT PZT METHOD FOR MANUFACTURING LEAD ZIRCONATE TITANATE PRECURSOR LIQUID AND LEAD ZIRCONATE TITANATE THIN FILM
The present invention relates to a method for preparing a lead zirconate titanate (PZT) precursor solution and a method for preparing a PZT thin film. More specifically, the method for preparing a PZT precursor solution comprises: a first mixing step of preparing a mixed solution by stirring and mixing zirconium oxide (l) and titanium oxide (l) at a preset temperature; a first solvent addition step of adding a first solvent to the mixed solution; a second solvent addition step of adding a second solvent and water to the mixed solution; and a second mixing step of mixing lead oxide (l) with the mixed solution. The method for preparing a PZT thin film comprises: a coating step of spin-coating a substrate with the prepared precursor solution; a drying step of drying the substrate coated with the precursor solution; a pyrolysis step (S400) of heating and pyrolyzing the dried substrate; and a crystallization step of preparing a PZT thin film by reheating and crystallizing the pyrolyzed substrate. Therefore, a PZT thin film with improved physical properties can be prepared.
본 발명은, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법 및 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 지르코늄 산화물(l) 및 티타늄 산화물(l)이 기설정된 온도에서 교반되어 혼합되어 혼합 용액이 제조되는, 제1 혼합 단계; 상기 혼합 용액에 제1용매가 첨가되는, 제1용매 첨가 단계; 상기 혼합 용액에 제2용매 및 물이 첨가되는, 제2용매 첨가 단계; 및 상기 혼합 용액에 납 산화물(l)이 혼합되는, 제2 혼합 단계; 및 상기 제조된 전구체 용액이 기판 위에 스핀 코팅되는, 코팅 단계; 상기 전구체 용액이 코팅된 기판이 건조되는, 건조 단계; 상기 건조된 기판이 가열되어 열분해되는, 열분해 단계(S400); 및 상기 열분해된 기판이 재가열되어 결정화됨으로써, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막이 제조되는, 결정화 단계; 를 포함한다.
PZT PZT METHOD FOR MANUFACTURING LEAD ZIRCONATE TITANATE PRECURSOR LIQUID AND LEAD ZIRCONATE TITANATE THIN FILM
The present invention relates to a method for preparing a lead zirconate titanate (PZT) precursor solution and a method for preparing a PZT thin film. More specifically, the method for preparing a PZT precursor solution comprises: a first mixing step of preparing a mixed solution by stirring and mixing zirconium oxide (l) and titanium oxide (l) at a preset temperature; a first solvent addition step of adding a first solvent to the mixed solution; a second solvent addition step of adding a second solvent and water to the mixed solution; and a second mixing step of mixing lead oxide (l) with the mixed solution. The method for preparing a PZT thin film comprises: a coating step of spin-coating a substrate with the prepared precursor solution; a drying step of drying the substrate coated with the precursor solution; a pyrolysis step (S400) of heating and pyrolyzing the dried substrate; and a crystallization step of preparing a PZT thin film by reheating and crystallizing the pyrolyzed substrate. Therefore, a PZT thin film with improved physical properties can be prepared.
본 발명은, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법 및 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 지르코늄 산화물(l) 및 티타늄 산화물(l)이 기설정된 온도에서 교반되어 혼합되어 혼합 용액이 제조되는, 제1 혼합 단계; 상기 혼합 용액에 제1용매가 첨가되는, 제1용매 첨가 단계; 상기 혼합 용액에 제2용매 및 물이 첨가되는, 제2용매 첨가 단계; 및 상기 혼합 용액에 납 산화물(l)이 혼합되는, 제2 혼합 단계; 및 상기 제조된 전구체 용액이 기판 위에 스핀 코팅되는, 코팅 단계; 상기 전구체 용액이 코팅된 기판이 건조되는, 건조 단계; 상기 건조된 기판이 가열되어 열분해되는, 열분해 단계(S400); 및 상기 열분해된 기판이 재가열되어 결정화됨으로써, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막이 제조되는, 결정화 단계; 를 포함한다.
PZT PZT METHOD FOR MANUFACTURING LEAD ZIRCONATE TITANATE PRECURSOR LIQUID AND LEAD ZIRCONATE TITANATE THIN FILM
티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법 및 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
KYOU HYUN KIM (Autor:in) / SUNG JAE WON (Autor:in) / JEON JONGCHUL (Autor:in)
28.12.2020
Patent
Elektronische Ressource
Koreanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Europäisches Patentamt | 2017
Layered lead zirconate titanate and lanthanum-doped lead zirconate titanate ceramic thin films
| British Library Online Contents | 2002
| Europäisches Patentamt | 2017
Lead-zirconate-titanate micro-tubes
| British Library Online Contents | 1995
Electrodeposition of lead zirconate titanate nanotubes
| British Library Online Contents | 2008