Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same: Fid-Bau Portal

Plasma resistant ceramic member and manufacturing method of the same

LEE SUNG MIN / OH YOON SUK / KIM HYEONG JUN / OH GYUSANG

The present invention relates to a plasma-resistant ceramic member and a manufacturing method thereof. According to the present invention, the plasma-resistant ceramic member comprises a substrate and a ceramic coating layer formed on the upper part of the substrate. The ceramic coating layer includes a lower layer of an oxide composition formed on the substrate and a surface layer surface-modified with a composition in which an oxide composition forming the surface of the ceramic coating layer includes at least one anion selected from a group consisting of F^- and Cl^-. The surface layer is a layer modified with a composition including one or more anions selected from a group consisting of F^- and Cl^-, wherein raw materials containing one or more anions selected from the group consisting of F^- and Cl^- are vaporized by heating to be adsorbed on the surface of the ceramic coating layer. Accordingly, plasma resistance, durability, and etching-process stability of ceramic members can be increased at a low cost.

본 발명은, 기판; 및 상기 기판 상부에 형성된 세라믹 코팅층을 포함하는 세라믹 부재로서, 상기 세라믹 코팅층은, 상기 기판 상부에 형성된 산화물 조성의 하부층; 및 상기 세라믹 코팅층의 표면을 구성하는 산화물 조성 성분이 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 표면개질된 표면층;을 포함하고, 상기 표면층은 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 함유하는 원료가 가열에 의해 기화되어 상기 세라믹 코팅층의 표면에 흡착되어 F- 및 Cl- 로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상의 음이온을 포함하는 조성으로 개질된 층인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹 부재 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 세라믹 부재의 내플라즈마 특성, 내구성, 식각공정 안정성을 저비용으로 개선할 수 있다.

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