Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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ASSEMBLY OF CERAMIC MEMBER AND METALLIC MEMBER, AND METHOD FOR PRODUCING SAME
An assembly (10) is produced by bonding a Mo- or Ti-made terminal (14) having a Ni coating film, an Au coating film or an Ni-Au coating film (wherein an under layer is made from Ni) to a depressed part (12a) formed in a plate-like alumina or alumina nitride ceramic member (12) with a bonding layer (16) interposed therebetween. The bonding layer (16) contains Au, Sn, Ag, Cu and Ti and is in contact with both at least a part (in the figure, the entire) of the side surface of the depressed part (12a) and the bottom of the depressed part (12a). In the bonding layer (16), Ti is contained richly in the bonding interface between the ceramic member (12) and the bonding layer (16). When the assembly (10) is cut along the thickness direction thereof, the ratio of the total area of cross sections of air holes relative to the area of the cross section of the bonding layer (16) (i.e., a porosity) is 0.1 to 15%.
L'invention concerne un assemblage (10) produit par le collage d'une borne (14) faite de Mo ou de Ti ayant un film de revêtement en Ni, un film de revêtement en Au ou un film de revêtement en Ni-Au (une sous-couche étant faite de Ni) sur une partie enfoncée (12a) formée dans un élément en céramique d'alumine ou de nitrure d'alumine de type plaque (12) ayant une couche de liaison (16) interposée entre celles-ci. La couche de liaison (16) contient de l'Au, du Sn, de l'Ag, du Cu et du Ti, et elle est en contact à la fois avec au moins une partie (sur la figure, la totalité) de la surface latérale de la partie enfoncée (12a) et le fond de la partie enfoncée (12a). Dans la couche de liaison (16), l'interface de liaison entre l'élément en céramique (12) et la couche de liaison (16) est riche en Ti. Lorsque l'assemblage (10) est découpé le long de la direction de l'épaisseur de celui-ci, le rapport de la surface totale des coupes transversales des trous d'air à la surface de la coupe transversale de la couche de liaison (16) (c'est-à-dire, une porosité) est de 0,1 à 15 %.
接合体１０は、板状のアルミナ又は窒化アルミニウムのセラミックス部材１２に設けた凹部１２ａに、Ｎｉ被膜、Ａｕ被膜又はＮｉ－Ａｕ被膜（下地がＮｉ）を有するＭｏ又はＴｉ製の端子１４を接合層１６を介して接合したものである。接合層１６は、Ａｕ，Ｓｎ，Ａｇ，Ｃｕ及びＴｉを含有し、凹部１２ａの側面の少なくとも一部（ここでは全部）及び底面と接している。この接合層１６のうちセラミックス部材１２との接合界面には、Ｔｉがリッチに存在している。また、接合体１０を接合体１０の厚み方向に切断したとき、接合層１６の断面積に占める気孔の断面積の総和の割合（気孔率）が０．１～１５％である。
ASSEMBLY OF CERAMIC MEMBER AND METALLIC MEMBER, AND METHOD FOR PRODUCING SAME
An assembly (10) is produced by bonding a Mo- or Ti-made terminal (14) having a Ni coating film, an Au coating film or an Ni-Au coating film (wherein an under layer is made from Ni) to a depressed part (12a) formed in a plate-like alumina or alumina nitride ceramic member (12) with a bonding layer (16) interposed therebetween. The bonding layer (16) contains Au, Sn, Ag, Cu and Ti and is in contact with both at least a part (in the figure, the entire) of the side surface of the depressed part (12a) and the bottom of the depressed part (12a). In the bonding layer (16), Ti is contained richly in the bonding interface between the ceramic member (12) and the bonding layer (16). When the assembly (10) is cut along the thickness direction thereof, the ratio of the total area of cross sections of air holes relative to the area of the cross section of the bonding layer (16) (i.e., a porosity) is 0.1 to 15%.
L'invention concerne un assemblage (10) produit par le collage d'une borne (14) faite de Mo ou de Ti ayant un film de revêtement en Ni, un film de revêtement en Au ou un film de revêtement en Ni-Au (une sous-couche étant faite de Ni) sur une partie enfoncée (12a) formée dans un élément en céramique d'alumine ou de nitrure d'alumine de type plaque (12) ayant une couche de liaison (16) interposée entre celles-ci. La couche de liaison (16) contient de l'Au, du Sn, de l'Ag, du Cu et du Ti, et elle est en contact à la fois avec au moins une partie (sur la figure, la totalité) de la surface latérale de la partie enfoncée (12a) et le fond de la partie enfoncée (12a). Dans la couche de liaison (16), l'interface de liaison entre l'élément en céramique (12) et la couche de liaison (16) est riche en Ti. Lorsque l'assemblage (10) est découpé le long de la direction de l'épaisseur de celui-ci, le rapport de la surface totale des coupes transversales des trous d'air à la surface de la coupe transversale de la couche de liaison (16) (c'est-à-dire, une porosité) est de 0,1 à 15 %.
接合体１０は、板状のアルミナ又は窒化アルミニウムのセラミックス部材１２に設けた凹部１２ａに、Ｎｉ被膜、Ａｕ被膜又はＮｉ－Ａｕ被膜（下地がＮｉ）を有するＭｏ又はＴｉ製の端子１４を接合層１６を介して接合したものである。接合層１６は、Ａｕ，Ｓｎ，Ａｇ，Ｃｕ及びＴｉを含有し、凹部１２ａの側面の少なくとも一部（ここでは全部）及び底面と接している。この接合層１６のうちセラミックス部材１２との接合界面には、Ｔｉがリッチに存在している。また、接合体１０を接合体１０の厚み方向に切断したとき、接合層１６の断面積に占める気孔の断面積の総和の割合（気孔率）が０．１～１５％である。
ASSEMBLY OF CERAMIC MEMBER AND METALLIC MEMBER, AND METHOD FOR PRODUCING SAME
ASSEMBLAGE D'ÉLÉMENT EN CÉRAMIQUE ET D'ÉLÉMENT MÉTALLIQUE, ET SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION
セラミックス部材と金属部材との接合体及びその製法
MINAMI TOMOYUKI (Autor:in) / KAWAJIRI TETSUYA (Autor:in)
05.11.2015
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
ASSEMBLY OF CERAMIC MEMBER AND METALLIC MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING SAME
Europäisches Patentamt | 2018
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CERAMIC MEMBER AND METHOD FOR PRODUCING THE CERAMIC MEMBER
| Europäisches Patentamt | 2017
CERAMIC MEMBER, HOLDING DEVICE, AND METHOD OF PRODUCING CERAMIC MEMBER
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CERAMIC MEMBER, PROBE HOLDER, AND METHOD FOR PRODUCING CERAMIC MEMBER
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