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NITRIDE THERMOELECTRIC CONVERSION MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR AND THERMOELECTRIC CONVERSION ELEMENT
The nitride thermoelectric conversion material according to the present invention comprises a metal nitride represented by general formula: (Cr1-xMx)1-yNy (wherein M represents at least one of Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B and Y. 0 ≤ x < 1.0; 0.40 ≤ y < 0.54), has a NaCl-type crystal structure, and has p-type or n-type thermoelectric properties. The method for manufacturing this nitride thermoelectric conversion material has a film forming step for forming a film by reactive sputtering in a nitrogen-containing atmosphere using a Cr sputtering target or Cr-M alloy sputtering target (wherein M represents at least one of Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B and Y).
La présente invention concerne un matériau de conversion thermoélectrique à base de nitrure, comprenant un nitrure de métal représenté par la formule générale : (Cr1-xMx)1-yNy (dans laquelle M représente au moins un élément parmi Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B et Y. 0 ≤ x < 1,0 ; 0,40 ≤ y < 0,54), ayant une structure cristalline de type NaCl, et possédant des propriétés thermoélectriques de type p ou de type n. Le procédé de fabrication de ce matériau de conversion thermoélectrique à base de nitrure comprend une étape de formation de film consistant à former un film par pulvérisation réactive dans une atmosphère contenant de l'azote au moyen d'une cible de pulvérisation de Cr ou d'une cible de pulvérisation d'alliage de Cr-M (M représentant au moins un élément parmi Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B et Y).
本発明に係る窒化物熱電変換材料は、一般式：（Ｃｒ１－ｘＭｘ）１－ｙＮｙ（但し、ＭはＴｉ，Ｖ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｂ及びＹのうち少なくとも１種を示す。０≦ｘ＜１．０、０．４０≦ｙ＜０．５４）で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、ＮａＣｌ型であり、ｐ型又はｎ型の熱電特性を有する。この窒化物熱電変換材料の製造方法は、Ｃｒスパッタリングターゲット又はＣｒ－Ｍ合金スパッタリングターゲット（但し、ＭはＴｉ，Ｖ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｂ及びＹのうち少なくとも１種を示す。）を用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有している。
NITRIDE THERMOELECTRIC CONVERSION MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR AND THERMOELECTRIC CONVERSION ELEMENT
The nitride thermoelectric conversion material according to the present invention comprises a metal nitride represented by general formula: (Cr1-xMx)1-yNy (wherein M represents at least one of Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B and Y. 0 ≤ x < 1.0; 0.40 ≤ y < 0.54), has a NaCl-type crystal structure, and has p-type or n-type thermoelectric properties. The method for manufacturing this nitride thermoelectric conversion material has a film forming step for forming a film by reactive sputtering in a nitrogen-containing atmosphere using a Cr sputtering target or Cr-M alloy sputtering target (wherein M represents at least one of Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B and Y).
La présente invention concerne un matériau de conversion thermoélectrique à base de nitrure, comprenant un nitrure de métal représenté par la formule générale : (Cr1-xMx)1-yNy (dans laquelle M représente au moins un élément parmi Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B et Y. 0 ≤ x < 1,0 ; 0,40 ≤ y < 0,54), ayant une structure cristalline de type NaCl, et possédant des propriétés thermoélectriques de type p ou de type n. Le procédé de fabrication de ce matériau de conversion thermoélectrique à base de nitrure comprend une étape de formation de film consistant à former un film par pulvérisation réactive dans une atmosphère contenant de l'azote au moyen d'une cible de pulvérisation de Cr ou d'une cible de pulvérisation d'alliage de Cr-M (M représentant au moins un élément parmi Ti, V, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zr, Nb, Mo, Hf, Ta, W, Si, Al, B et Y).
本発明に係る窒化物熱電変換材料は、一般式：（Ｃｒ１－ｘＭｘ）１－ｙＮｙ（但し、ＭはＴｉ，Ｖ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｂ及びＹのうち少なくとも１種を示す。０≦ｘ＜１．０、０．４０≦ｙ＜０．５４）で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、ＮａＣｌ型であり、ｐ型又はｎ型の熱電特性を有する。この窒化物熱電変換材料の製造方法は、Ｃｒスパッタリングターゲット又はＣｒ－Ｍ合金スパッタリングターゲット（但し、ＭはＴｉ，Ｖ，Ｍｎ，Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ，Ｓｉ，Ａｌ，Ｂ及びＹのうち少なくとも１種を示す。）を用いて窒素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有している。
NITRIDE THERMOELECTRIC CONVERSION MATERIAL AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR AND THERMOELECTRIC CONVERSION ELEMENT
MATÉRIAU DE CONVERSION THERMOÉLECTRIQUE À BASE DE NITRURE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ AINSI QU'ÉLÉMENT DE CONVERSION THERMOÉLECTRIQUE
窒化物熱電変換材料及びその製造方法並びに熱電変換素子
FUJITA TOSHIAKI (Autor:in) / NAGATOMO NORIAKI (Autor:in)
29.09.2016
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
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