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CERAMIC SUBSTRATE, LAMINATE, AND SAW DEVICE
This ceramic substrate is formed from a polycrystalline ceramic and has a supporting main surface. The supporting main surface has a roughness of 0.01 nm to 3.0 nm, in terms of Sa. On the supporting main surface, in a square region that is 50 μm per side, there are, on average, less than 5 convexities/concavities of at least 1 nm, and, on average, less than 1 convexity/concavity of at least 2 nm.
L'invention concerne un substrat en céramique formé à partir d'une céramique polycristalline et ayant une surface principale de support. La surface principale de support a une rugosité de 0,01 nm à 3,0 nm, en termes de Sa. Sur la surface principale de support, dans une région carrée de 50 µm de côté, il y a, en moyenne, moins de 5 convexités/concavités d'au moins 1 nm, et, en moyenne, moins de 1 convexité/concavité d'au moins 2 nm.
セラミック基板は、多結晶セラミックから構成され、支持主面を有する。支持主面は、粗さがＳａで０．０１ｎｍ以上３．０ｎｍ以下である。支持主面において、一辺５０μｍの正方形領域における１ｎｍ以上の凹凸が平均で５個未満、かつ２ｎｍ以上の凹凸が平均で１個未満である。
CERAMIC SUBSTRATE, LAMINATE, AND SAW DEVICE
This ceramic substrate is formed from a polycrystalline ceramic and has a supporting main surface. The supporting main surface has a roughness of 0.01 nm to 3.0 nm, in terms of Sa. On the supporting main surface, in a square region that is 50 μm per side, there are, on average, less than 5 convexities/concavities of at least 1 nm, and, on average, less than 1 convexity/concavity of at least 2 nm.
L'invention concerne un substrat en céramique formé à partir d'une céramique polycristalline et ayant une surface principale de support. La surface principale de support a une rugosité de 0,01 nm à 3,0 nm, en termes de Sa. Sur la surface principale de support, dans une région carrée de 50 µm de côté, il y a, en moyenne, moins de 5 convexités/concavités d'au moins 1 nm, et, en moyenne, moins de 1 convexité/concavité d'au moins 2 nm.
セラミック基板は、多結晶セラミックから構成され、支持主面を有する。支持主面は、粗さがＳａで０．０１ｎｍ以上３．０ｎｍ以下である。支持主面において、一辺５０μｍの正方形領域における１ｎｍ以上の凹凸が平均で５個未満、かつ２ｎｍ以上の凹凸が平均で１個未満である。
CERAMIC SUBSTRATE, LAMINATE, AND SAW DEVICE
SUBSTRAT EN CÉRAMIQUE, STRATIFIÉ, ET DISPOSITIF SAW
セラミック基板、積層体およびＳＡＷデバイス
GESHI KEIICHIRO (Autor:in) / NAKAYAMA SHIGERU (Autor:in)
06.10.2016
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch