Eine Plattform für die Wissenschaft: Bauingenieurwesen, Architektur und Urbanistik
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METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING CERAMIC-METAL JOINED BODY, AND CERAMIC-METAL JOINED BODY
The present invention has: a joining step for clamping, by a pair of pressure plates, a laminate in which metal plates composed of copper or a copper alloy are laminated on surfaces of a ceramic base with a Cu-P-based brazing material interposed therebetween, applying heat, and thereby joining the metal plates to both surfaces of the ceramic base and forming metal layers; and an etching step for etching the laminate along scribe lines and separating the metal layers into regions surrounded by the scribe lines. A plurality of relief surfaces that have a prescribed width and are set apart from the surface of the laminate are provided on a pressing surface of the pressure plates, at positions that are located along two sides forming one corner of the pressure plate and that do not come immediately above the scribe lines when the laminate is clamped. During the joining step, a brazing material reservoir space is formed between the surface of the laminate and the plurality of relief surfaces. There are thereby provided a method and device for manufacturing a ceramic-metal joined body, and a ceramic-metal joined body, with which it is possible to inhibit a brazing material from hardening immediately above scribe lines of a laminate.
La présente invention comprend : une étape d'assemblage consistant à serrer, au moyen d'une paire de plaques de pression, un stratifié dans lequel des plaques métalliques composées de cuivre ou d'un alliage de cuivre sont stratifiées sur des surfaces d'une base en céramique, un matériau de brasage à base de Cu-P étant interposé entre elles, et à appliquer de la chaleur, ce qui permet d'assembler les plaques métalliques avec les deux surfaces de la base en céramique et de former des couches métalliques ; et une étape de gravure consistant à graver le stratifié le long de lignes de découpe et à séparer les couches métalliques en régions entourées par les lignes de découpe. Une pluralité de surfaces en relief qui présentent une largeur prescrite et qui sont espacées de la surface du stratifié sont disposées sur une surface de pression des plaques de pression, à des positions qui sont situées le long de deux côtés formant un coin de la plaque de pression et qui ne se trouvent pas immédiatement au-dessus des lignes de découpe lorsque le stratifié est serré. Pendant l'étape d'assemblage, un espace de réservoir de matériau de brasage est formé entre la surface du stratifié et la pluralité de surfaces en relief. Le procédé et le dispositif de fabrication d'un corps assemblé céramique-métal, et le corps assemblé céramique-métal, selon la présente invention, permettent ainsi d'empêcher qu'un matériau de brasage durcisse immédiatement au-dessus des lignes de découpe d'un stratifié.
セラミックス母材の表面に銅又は銅合金からなる金属板がＣｕ－Ｐ系ろう材を介して積層された積層体を一対の加圧板により挟持して加熱することにより、セラミックス母材の両面に金属板を接合して金属層を形成する接合工程と、積層体をスクライブラインに沿ってエッチングして金属層をスクライブラインにより囲まれた領域ごとに分離するエッチング工程と、を有し、加圧板の加圧面に、積層体の表面から離間する所定幅の逃がし面が加圧板の１つの角部を形成する２辺に沿って、かつ積層体を挟持したときにスクライブラインの真上を避ける位置に複数設けられており、接合工程において、積層体の表面と複数の逃がし面との間にろう溜まり空間を形成する。これにより、積層体のスクライブラインの真上でろうが固化することを抑制できるセラミックス－金属接合体の製造方法、製造装置及びセラミックス－金属接合体を提供する。
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING CERAMIC-METAL JOINED BODY, AND CERAMIC-METAL JOINED BODY
The present invention has: a joining step for clamping, by a pair of pressure plates, a laminate in which metal plates composed of copper or a copper alloy are laminated on surfaces of a ceramic base with a Cu-P-based brazing material interposed therebetween, applying heat, and thereby joining the metal plates to both surfaces of the ceramic base and forming metal layers; and an etching step for etching the laminate along scribe lines and separating the metal layers into regions surrounded by the scribe lines. A plurality of relief surfaces that have a prescribed width and are set apart from the surface of the laminate are provided on a pressing surface of the pressure plates, at positions that are located along two sides forming one corner of the pressure plate and that do not come immediately above the scribe lines when the laminate is clamped. During the joining step, a brazing material reservoir space is formed between the surface of the laminate and the plurality of relief surfaces. There are thereby provided a method and device for manufacturing a ceramic-metal joined body, and a ceramic-metal joined body, with which it is possible to inhibit a brazing material from hardening immediately above scribe lines of a laminate.
La présente invention comprend : une étape d'assemblage consistant à serrer, au moyen d'une paire de plaques de pression, un stratifié dans lequel des plaques métalliques composées de cuivre ou d'un alliage de cuivre sont stratifiées sur des surfaces d'une base en céramique, un matériau de brasage à base de Cu-P étant interposé entre elles, et à appliquer de la chaleur, ce qui permet d'assembler les plaques métalliques avec les deux surfaces de la base en céramique et de former des couches métalliques ; et une étape de gravure consistant à graver le stratifié le long de lignes de découpe et à séparer les couches métalliques en régions entourées par les lignes de découpe. Une pluralité de surfaces en relief qui présentent une largeur prescrite et qui sont espacées de la surface du stratifié sont disposées sur une surface de pression des plaques de pression, à des positions qui sont situées le long de deux côtés formant un coin de la plaque de pression et qui ne se trouvent pas immédiatement au-dessus des lignes de découpe lorsque le stratifié est serré. Pendant l'étape d'assemblage, un espace de réservoir de matériau de brasage est formé entre la surface du stratifié et la pluralité de surfaces en relief. Le procédé et le dispositif de fabrication d'un corps assemblé céramique-métal, et le corps assemblé céramique-métal, selon la présente invention, permettent ainsi d'empêcher qu'un matériau de brasage durcisse immédiatement au-dessus des lignes de découpe d'un stratifié.
セラミックス母材の表面に銅又は銅合金からなる金属板がＣｕ－Ｐ系ろう材を介して積層された積層体を一対の加圧板により挟持して加熱することにより、セラミックス母材の両面に金属板を接合して金属層を形成する接合工程と、積層体をスクライブラインに沿ってエッチングして金属層をスクライブラインにより囲まれた領域ごとに分離するエッチング工程と、を有し、加圧板の加圧面に、積層体の表面から離間する所定幅の逃がし面が加圧板の１つの角部を形成する２辺に沿って、かつ積層体を挟持したときにスクライブラインの真上を避ける位置に複数設けられており、接合工程において、積層体の表面と複数の逃がし面との間にろう溜まり空間を形成する。これにより、積層体のスクライブラインの真上でろうが固化することを抑制できるセラミックス－金属接合体の製造方法、製造装置及びセラミックス－金属接合体を提供する。
METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING CERAMIC-METAL JOINED BODY, AND CERAMIC-METAL JOINED BODY
PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE FABRICATION D'UN CORPS ASSEMBLÉ CÉRAMIQUE-MÉTAL, ET CORPS ASSEMBLÉ CÉRAMIQUE-MÉTAL
セラミックス－金属接合体の製造方法、製造装置及びセラミックス－金属接合体
KITAHARA TAKESHI (Autor:in) / NAGATOMO YOSHIYUKI (Autor:in)
01.08.2019
Patent
Elektronische Ressource
Japanisch
| Europäisches Patentamt | 2022
CERAMIC JOINED BODY, ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE, AND METHOD FOR MANUFACTURING CERAMIC JOINED BODY
| Europäisches Patentamt | 2023
CERAMIC-METAL JOINED BODY AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
| Europäisches Patentamt | 2024