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POLYCRYSTALLINE MATERIALS COMPRISING YTTRIUM ALUMINUM PEROVSKITE AND METHODS OF MAKING THE SAME
New polycrystalline materials having yttrium aluminum perovskite (YAP) and yttrium zirconate (YZ) are described. In one aspect, a polycrystalline material (e.g., a bulk or monolithic polycrystalline material) may comprise (a) at least 50 wt. % yttrium aluminum perovskite (YAP) phase, and (b) at least 0.1 wt. % yttrium zirconate (YZ) phase. Such polycrystalline materials may realize an improved combination of properties, such as an improved combination of two or more of density, modulus of rupture (MOR), fracture toughness, dielectric strength, loss tangent, and plasma etch resistance, among others.
L'invention concerne de nouveaux matériaux polycristallins ayant de la pérovskite d'yttrium-aluminium (YAP) et du zirconate d'yttrium (YZ). Selon un aspect, un matériau polycristallin (par exemple, un matériau polycristallin en vrac ou monolithique) peut comprendre (a) au moins 50 % en poids de phase de pérovskite d'yttrium-aluminium (YAP), et (b) au moins 0,1 % en poids de phase de zirconate d'yttrium (YZ). De tels matériaux polycristallins peuvent réaliser une combinaison améliorée de propriétés, telles qu'une combinaison améliorée d'au moins deux éléments parmi la densité, le module de rupture (MOR), la ténacité à la rupture, la rigidité diélectrique, la tangente de perte et la résistance à la gravure au plasma, entre autres.
POLYCRYSTALLINE MATERIALS COMPRISING YTTRIUM ALUMINUM PEROVSKITE AND METHODS OF MAKING THE SAME
New polycrystalline materials having yttrium aluminum perovskite (YAP) and yttrium zirconate (YZ) are described. In one aspect, a polycrystalline material (e.g., a bulk or monolithic polycrystalline material) may comprise (a) at least 50 wt. % yttrium aluminum perovskite (YAP) phase, and (b) at least 0.1 wt. % yttrium zirconate (YZ) phase. Such polycrystalline materials may realize an improved combination of properties, such as an improved combination of two or more of density, modulus of rupture (MOR), fracture toughness, dielectric strength, loss tangent, and plasma etch resistance, among others.
L'invention concerne de nouveaux matériaux polycristallins ayant de la pérovskite d'yttrium-aluminium (YAP) et du zirconate d'yttrium (YZ). Selon un aspect, un matériau polycristallin (par exemple, un matériau polycristallin en vrac ou monolithique) peut comprendre (a) au moins 50 % en poids de phase de pérovskite d'yttrium-aluminium (YAP), et (b) au moins 0,1 % en poids de phase de zirconate d'yttrium (YZ). De tels matériaux polycristallins peuvent réaliser une combinaison améliorée de propriétés, telles qu'une combinaison améliorée d'au moins deux éléments parmi la densité, le module de rupture (MOR), la ténacité à la rupture, la rigidité diélectrique, la tangente de perte et la résistance à la gravure au plasma, entre autres.
POLYCRYSTALLINE MATERIALS COMPRISING YTTRIUM ALUMINUM PEROVSKITE AND METHODS OF MAKING THE SAME
MATÉRIAUX POLYCRISTALLINS COMPRENANT DE LA PÉROVSKITE D'YTTRIUM-ALUMINIUM ET LEURS PROCÉDÉS DE FABRICATION
LANDIN STEVEN (Autor:in) / HOOK DAVID HENRY (Autor:in) / MULLEN REBECCA (Autor:in)
05.12.2024
Patent
Elektronische Ressource
Englisch
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Crystallization of yttrium aluminum perovskite at around room temperature
| British Library Online Contents | 2000
| Europäisches Patentamt | 2020
| Europäisches Patentamt | 2020
Yttrium in Polycrystalline alpha-Alumina
| British Library Online Contents | 2000
SUPERHARD POLYCRYSTALLINE CONSTRUCTIONS AND METHODS OF MAKING SAME
| Europäisches Patentamt | 2017