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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Recent Magnetron Design at Minho University - Characterization

    Beteiligte:

    Guimaraes, F. (Autor:in) / Almeida, J. (Autor:in) / Barral, R. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials ; 535-538

    NATO ASI Series ; 176

    Erscheinungsdatum:

    01.01.1990

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISBN:

    978-94-009-1946-4 , 978-94-010-7369-1

    ISSN:

    0168-132X

    DOI:

    https://doi.org/10.1007/978-94-009-1946-4_40

    Medientyp:

    Aufsatz/Kapitel (Buch)

    Format:

    Elektronische Ressource

    Sprache:

    Englisch

    Schlagwörter:

    Electron Temperature , Glow Discharge , Tungsten Wire , Langmuir Probe , Plasma Potential Chemistry , Industrial Chemistry/Chemical Engineering , Characterization and Evaluation of Materials , Nuclear Physics, Heavy Ions, Hadrons , Physical Chemistry

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