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Those confusing pure water 'specifications': Setting the record straight
Anhand von Tabellen werden die Anforderungen, die nach den Richtlinien verschiedener Institutionen an hochreines Wasser zu stellen sind, besprochen. Hierzu gehoeren die Richtlinien des Balazs Labors, der ASTM (American Society for Testing and Materials) und von SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute). Auf Schwierigkeiten, die bei der Auslegung der Vorschriften auftreten, wird eingegangen. Bezueglich einer zukuenftigen Verbesserung der Vorschriften wird keine optimistische Prognose gestellt. Das ASTM-Subkommitee hat im November 1983 die neuen Entwuerfe fuer die Richtlinien in die 'grauen' Seiten des ASTM-Jahrbuchs aufgenommen. Das bedeutet, dass die Richtlinien noch nicht offiziell bestaetigt sind. Eine wirksame Anwendung der Vorschriften erfordert eine hohe Kenntnis der Wasserreinigungstechnologie. Zur Zeit sind alle Reinwasserrichtlinien noch mit Vorsicht anzuwenden.
Those confusing pure water 'specifications': Setting the record straight
Anhand von Tabellen werden die Anforderungen, die nach den Richtlinien verschiedener Institutionen an hochreines Wasser zu stellen sind, besprochen. Hierzu gehoeren die Richtlinien des Balazs Labors, der ASTM (American Society for Testing and Materials) und von SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute). Auf Schwierigkeiten, die bei der Auslegung der Vorschriften auftreten, wird eingegangen. Bezueglich einer zukuenftigen Verbesserung der Vorschriften wird keine optimistische Prognose gestellt. Das ASTM-Subkommitee hat im November 1983 die neuen Entwuerfe fuer die Richtlinien in die 'grauen' Seiten des ASTM-Jahrbuchs aufgenommen. Das bedeutet, dass die Richtlinien noch nicht offiziell bestaetigt sind. Eine wirksame Anwendung der Vorschriften erfordert eine hohe Kenntnis der Wasserreinigungstechnologie. Zur Zeit sind alle Reinwasserrichtlinien noch mit Vorsicht anzuwenden.
Those confusing pure water 'specifications': Setting the record straight
Das Durcheinandder in den Reinwasservorschriften
Balazs, M.K. (Autor:in) / Poitier, S.J. (Autor:in)
Microelectronic Manufacturing and Testing ; 7 ; 22-23
1984
2 Seiten, 5 Tabellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Englisch
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