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Reinraeume. Heutiger Stand von Anforderungen und Technik
Der Beitrag definiert zunaechst die beiden Begriffe 'Reinraum' und 'reiner Arbeitsplatz'. Anschliessend werden Vorschriften und Richtlinien fuer Reinraeume aus den USA, Deutschland, Grossbritannien, Frankreich und Schweden vorgestellt. Bei Verunreinigungen, die am reinen Arbeitsplatz auftreten koennen, sind externe und interne Verunreinigungen zu unterscheiden. Verunreinigende Partikel entstehen durch die Aussenluft, das Reinraumpersonal, Gebaeudematerialien und Einrichtungen sowie durch Arbeitsprozesse. Fuer die Ausfuehrung von reinen Raeumen gibt es prinzipiell zwei Ausfuehrungen der Luftfuehrung: die turbulente Misch- oder Verduennungslueftung und die turbulenzarme Verdraengungslueftung. Beim Bau eines Reinraumes sind besonders Reinraum-Filterdecke, Zentralklimageraet und Umluftgeraete sowie Doppelboeden und Abluftdurchlaesse zu beruecksichtigen. Die wichtigsten Kriterien fuer einen Reinraum werden am Beispiel eines Halbleiterproduktionsgebaeudes illustriert. (Maechtel)
Reinraeume. Heutiger Stand von Anforderungen und Technik
Der Beitrag definiert zunaechst die beiden Begriffe 'Reinraum' und 'reiner Arbeitsplatz'. Anschliessend werden Vorschriften und Richtlinien fuer Reinraeume aus den USA, Deutschland, Grossbritannien, Frankreich und Schweden vorgestellt. Bei Verunreinigungen, die am reinen Arbeitsplatz auftreten koennen, sind externe und interne Verunreinigungen zu unterscheiden. Verunreinigende Partikel entstehen durch die Aussenluft, das Reinraumpersonal, Gebaeudematerialien und Einrichtungen sowie durch Arbeitsprozesse. Fuer die Ausfuehrung von reinen Raeumen gibt es prinzipiell zwei Ausfuehrungen der Luftfuehrung: die turbulente Misch- oder Verduennungslueftung und die turbulenzarme Verdraengungslueftung. Beim Bau eines Reinraumes sind besonders Reinraum-Filterdecke, Zentralklimageraet und Umluftgeraete sowie Doppelboeden und Abluftdurchlaesse zu beruecksichtigen. Die wichtigsten Kriterien fuer einen Reinraum werden am Beispiel eines Halbleiterproduktionsgebaeudes illustriert. (Maechtel)
Reinraeume. Heutiger Stand von Anforderungen und Technik
Eppler, A. (Autor:in)
Zentralblatt fuer Industriebau ; 33 ; 35-332
1987
7 Seiten, 5 Bilder, 3 Tabellen, 3 Quellen
Aufsatz (Zeitschrift)
Deutsch
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