X‐Ray Optics: 3D Nanofabrication of High‐Resolution Multilayer Fresnel Zone Plates (Adv. Sci. 9/2018): Fid-Bau Portal

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X‐Ray Optics: 3D Nanofabrication of High‐Resolution Multilayer Fresnel Zone Plates (Adv. Sci. 9/2018)

Sanli, Umut Tunca / Jiao, Chengge / Baluktsian, Margarita / Grévent, Corinne / Hahn, Kersten / Wang, Yi / Srot, Vesna / Richter, Gunther / Bykova, Iuliia / Weigand, Markus / ... [mehr]

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Titel:

X‐Ray Optics: 3D Nanofabrication of High‐Resolution Multilayer Fresnel Zone Plates (Adv. Sci. 9/2018)

Beteiligte:

Sanli, Umut Tunca (Autor:in) / Jiao, Chengge (Autor:in) / Baluktsian, Margarita (Autor:in) / Grévent, Corinne (Autor:in) / Hahn, Kersten (Autor:in) / Wang, Yi (Autor:in) / Srot, Vesna (Autor:in) / Richter, Gunther (Autor:in) / Bykova, Iuliia (Autor:in) / Weigand, Markus (Autor:in)

Erschienen in:

Advanced Science ; 5

Erscheinungsdatum:

01.09.2018

Format / Umfang:

1 pages

ISSN:

DOI:

https://doi.org/10.1002/advs.201870052

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Elektronische Ressource

Sprache:

Englisch

Schlagwörter:

atomic layer deposition , nanofabrication , fresnel zone plates , focused ion beam , X‐ray optics

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