Gravure du Carbure de Silicium dans un reacteur DECR: Fid-Bau Portal

Gravure du Carbure de Silicium dans un reacteur DECR

Lanois, F. / Institut National des Sciences Appliquees de Lyon / L'Association des Doctorants de l'Insa de Lyon / Le Departement des Etudes Doctorales de l'Insa de Lyon

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Title:

Gravure du Carbure de Silicium dans un reacteur DECR

Contributors:

Lanois, F. (author) / Institut National des Sciences Appliquees de Lyon / L'Association des Doctorants de l'Insa de Lyon / Le Departement des Etudes Doctorales de l'Insa de Lyon

Conference:

1 Colloque des doctorants ; 1994 ; Lyons; France

Published in:

1 Colloque des doctorants ; 263-264

COLLOQUE DES DOCTORANTS- INSTITUT NATIONAL DES SCIENCES APPLIQUEES DE LYON

Publication date:

1994-01-01

Size:

2 pages

Remarks:

In French and English

ISBN:

2950836402

Type of media:

Conference paper

Type of material:

Language:

French

Keywords:

doctorants , INSA , ADIL , DED

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