Mechanische und tribologische Eigenschaften von CN~x-, SiC~x- und SiN~x-Schichten: Fid-Bau Portal

Mechanische und tribologische Eigenschaften von CN~x-, SiC~x- und SiN~x-Schichten

Leiste, H. / Stuber, M. / Ulrich, S. / Holleck, H.

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Title:

Mechanische und tribologische Eigenschaften von CN~x-, SiC~x- und SiN~x-Schichten

Contributors:

Leiste, H. (author) / Stuber, M. (author) / Ulrich, S. (author) / Holleck, H. (author)

Published in:

MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 31 ; 743-746

Publication date:

2000-01-01

Size:

4 pages

ISSN:

0933-5137

Type of media:

Article (Journal)

Type of material:

Language:

German

Classification:

DDC: 620.11

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