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    Title:

    Abscheidung von Palladium und Palladiumlegierungen mit hohen Schichtdicken fur die Mikrosystemtechnik

    Contributors:

    Gunther, E. (author) / Jakob, C. (author) / Kutzschbach, P. (author) / Mache, T. (author)

    Published in:

    MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 38 ; 116-120

    Publication date:

    2007-01-01

    Size:

    5 pages

    ISSN:

    0933-5137

    Type of media:

    Article (Journal)

    Type of material:

    Print

    Language:

    English

    Classification:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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