A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
Investigasi Pengaruh Daya RF terhadap Morfologi Silicon Nanowire pada Penumbuhan dengan Metode PECVD
Silicon nanowire (SiNW) merupakan material berstruktur nano yang pemanfaatannya cukup luas, diantaranya yaitu sebagai material divais elektronik, sebagai material biosensor, dan sebagai sistem pembawa obat. Penumbuhan SiNW salah satunya dapat dilakukan dengan metode PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition). Nikel digunakan sebagai katalis dalam penumbuhan SiNW pada penelitian ini. Lapisan tipis nikel diberi perlakuan annealing pada suhu 600°C selama 6 jam untuk memperoleh butiran nikel sebagai pemandu tumbuhnya nanowire. Penumbuhan SiNW dilakukan dengan metode PECVD dengan memvariasikan daya frekuensi radio (RF) reaktor sebesar 8 watt, 10 watt, dan 20 watt. Diameter rata-rata untuk daya 8 watt, 10 watt, dan 20 watt berturut-turut adalah 1143,17 nm; 1490,27 nm; dan 2605,26 nm. Morfologi permukaan dilihat dengan pencitraan scanning electron microscope (SEM). Rasio aspek wire dengan daya RF penumbuhan 8 watt, 10 watt, dan 20 watt diinvestigasi dengan pencitraan SEM penampang lintang dengan hasil berturut-turut sebesar 23,3; 3,13; dan 0,33.
Investigasi Pengaruh Daya RF terhadap Morfologi Silicon Nanowire pada Penumbuhan dengan Metode PECVD
Silicon nanowire (SiNW) merupakan material berstruktur nano yang pemanfaatannya cukup luas, diantaranya yaitu sebagai material divais elektronik, sebagai material biosensor, dan sebagai sistem pembawa obat. Penumbuhan SiNW salah satunya dapat dilakukan dengan metode PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition). Nikel digunakan sebagai katalis dalam penumbuhan SiNW pada penelitian ini. Lapisan tipis nikel diberi perlakuan annealing pada suhu 600°C selama 6 jam untuk memperoleh butiran nikel sebagai pemandu tumbuhnya nanowire. Penumbuhan SiNW dilakukan dengan metode PECVD dengan memvariasikan daya frekuensi radio (RF) reaktor sebesar 8 watt, 10 watt, dan 20 watt. Diameter rata-rata untuk daya 8 watt, 10 watt, dan 20 watt berturut-turut adalah 1143,17 nm; 1490,27 nm; dan 2605,26 nm. Morfologi permukaan dilihat dengan pencitraan scanning electron microscope (SEM). Rasio aspek wire dengan daya RF penumbuhan 8 watt, 10 watt, dan 20 watt diinvestigasi dengan pencitraan SEM penampang lintang dengan hasil berturut-turut sebesar 23,3; 3,13; dan 0,33.
Investigasi Pengaruh Daya RF terhadap Morfologi Silicon Nanowire pada Penumbuhan dengan Metode PECVD
Aulia Fikri Hidayat (author) / Toto Winata (author)
2019
Article (Journal)
Electronic Resource
Unknown
Metadata by DOAJ is licensed under CC BY-SA 1.0
PENGARUH TEGANGAN TERHADAP PENGOLAHAN AIR BAKU DENGAN METODE ELEKTROKOAGULASI
| BASE | 2015
Pengaruh NaClO2 terhadap Membran Nanofiber Polisulfon dengan Metode Electrospinning
| DOAJ | 2018
Pengaruh Substitusi Tepung Sorgum Putih pada Fig Bar terhadap Daya Terima Konsumen
| DOAJ | 2020