Reliability of scanning electron microscopy information: Fid-Bau Portal

Reliability of scanning electron microscopy information

Grattan-Bellew, P.E. / Quinn, E.G. / Sereda, P.J.

AbstractThe reliability of information obtained with the scanning electron microscope is influenced by human and instrumental factors. The human factor enters, for example, when a microstructure is described as being typical of the material when in fact it is only a minor component. Some instrumental factors include charging of the specimen, problems differentiating between positive and negative relief and distortion of the shape of the sample in micrographs. The determination of the amount of a phase present in a composite is a complex problem involving both preparation of representative surfaces and appropriate methods of evaluation. A number of experimental results are provided. Where smearing of surfaces is not a problem, point counting evaluation on sawn surfaces is shown to provide reliable results.

RésuméLa véracité des renseignements obtenus à l'aide du microscope électronique à balayage est influencée par les facteurs humains et instrumentaux. Le facteur humain entre en jeu, par exemple, lorsqu'une microstructure est décrite comme étant typique du matériau lorsqu'elle n'est en réalité qu'une composante secondaire. Certains facteurs instrumentaux comprennet le chargement du spécimen, les problèmes de différenciation entre le relief négatif et le positif et la distorsion de la forme de l'échantillon dans les microphotographies. La détermination de la quantité d'une phase présente dans un composé. occasionne un problème complexe de préparation des surfaces représentatives et de mise au point de méthodes d'évaluation appropriées. Un nombre de résultats expérimentaux est fourni. Lorsque les taches en surfaces ne constituent pas un problème, l'évaluation en comptant les points aux surfaces sciées fournit des résultats fiables.