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Verfahren zum Herstellen eines Siliziumcarbid-haltigen Körpers
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Siliziumcarbid-enthaltenden Körpers (100), dadurch gekennzeichnet, das Verfahren die Verfahrensschritte aufweist: a) Bereitstellen eines Gemisches (16) mit einer Siliziumquelle und einer Kohlenstoffquelle, wobei die Siliziumquelle und die Kohlenstoffquelle gemeinsam in Partikeln eines Feststoffgranulats vorliegen; b) Anordnen einer Schicht des bei Verfahrensschritt a) bereitgestellten Gemisches (16) auf einem Träger (12), wobei die Schicht des Gemisches (16) eine vordefinierte Dicke aufweist; und c) Lokal begrenztes Behandeln des in Verfahrensschritt b) angeordneten Gemisches (16) mit einer Temperatur in einem Bereich von ≥ 1400°C bis ≤ 2000°C nach einem vorbestimmten räumlichen Muster, wobei das vorbestimmte räumliche Muster ausgewählt ist basierend auf der räumlichen Ausgestaltung des zu erzeugenden Körpers (100). Ein derartiges Verfahren erlaubt ein einfaches und kostengünstiges Erzeugen auch komplexer Strukturen aus Siliziumcarbid.
The present invention relates to a process for producing a silicon carbide-containing body (100), characterized in that the process has the following process steps: a) providing a mixture (16) comprising a silicon source and a carbon source, the silicon source and the carbon source being present together in particles of a solid granular material; b) arranging a layer of the mixture (16) provided in process step a) on a carrier (12), the layer of the mixture (16) having a predefined thickness; and c) treating the mixture (16) arranged in process step b) over a locally limited area with a temperature within a range from ≥1400° C. to ≤2000° C. according to a predetermined three-dimensional pattern, the predetermined three-dimensional pattern being selected on the basis of the three-dimensional configuration of the body (100) to be produced. Such a process allows simple and inexpensive production even of complex structures from silicon carbide.
Verfahren zum Herstellen eines Siliziumcarbid-haltigen Körpers
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Siliziumcarbid-enthaltenden Körpers (100), dadurch gekennzeichnet, das Verfahren die Verfahrensschritte aufweist: a) Bereitstellen eines Gemisches (16) mit einer Siliziumquelle und einer Kohlenstoffquelle, wobei die Siliziumquelle und die Kohlenstoffquelle gemeinsam in Partikeln eines Feststoffgranulats vorliegen; b) Anordnen einer Schicht des bei Verfahrensschritt a) bereitgestellten Gemisches (16) auf einem Träger (12), wobei die Schicht des Gemisches (16) eine vordefinierte Dicke aufweist; und c) Lokal begrenztes Behandeln des in Verfahrensschritt b) angeordneten Gemisches (16) mit einer Temperatur in einem Bereich von ≥ 1400°C bis ≤ 2000°C nach einem vorbestimmten räumlichen Muster, wobei das vorbestimmte räumliche Muster ausgewählt ist basierend auf der räumlichen Ausgestaltung des zu erzeugenden Körpers (100). Ein derartiges Verfahren erlaubt ein einfaches und kostengünstiges Erzeugen auch komplexer Strukturen aus Siliziumcarbid.
The present invention relates to a process for producing a silicon carbide-containing body (100), characterized in that the process has the following process steps: a) providing a mixture (16) comprising a silicon source and a carbon source, the silicon source and the carbon source being present together in particles of a solid granular material; b) arranging a layer of the mixture (16) provided in process step a) on a carrier (12), the layer of the mixture (16) having a predefined thickness; and c) treating the mixture (16) arranged in process step b) over a locally limited area with a temperature within a range from ≥1400° C. to ≤2000° C. according to a predetermined three-dimensional pattern, the predetermined three-dimensional pattern being selected on the basis of the three-dimensional configuration of the body (100) to be produced. Such a process allows simple and inexpensive production even of complex structures from silicon carbide.
Verfahren zum Herstellen eines Siliziumcarbid-haltigen Körpers
GREULICH-WEBER SIEGMUND (author)
2016-10-06
Patent
Electronic Resource
German
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SILIZIUMCARBID-HALTIGEN KÖRPERS
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