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Bauteil, das mit ß-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist und ein Verfahren zu seiner Herstellung
Das Bauteil, das mit β-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist weist eine Wärmeleitfähigkeit > 80 W/mK sowie eine dielektrische Durchlagsfestigkeit > 35 KV/mm auf. Ei der Herstellung wird pulverförmiges SiNzu einem blockförmigen Element geformt und bei einer Wärmebehandlung in einer Stickstoffatmosphäre bei einer Temperatur von mindestens 1700 °C verdichtet. Im Anschluss an eine nachfolgende Abkühlung aus dem blockförmigen Element werden Trägerelemente als scheibenförmige Elemente mit einer Dicke der einzelnen Trägerelemente im Bereich 100 µm bis 3 mm mittels eines Drahtsägeprozesses erhalten.
Bauteil, das mit ß-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist und ein Verfahren zu seiner Herstellung
Das Bauteil, das mit β-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist weist eine Wärmeleitfähigkeit > 80 W/mK sowie eine dielektrische Durchlagsfestigkeit > 35 KV/mm auf. Ei der Herstellung wird pulverförmiges SiNzu einem blockförmigen Element geformt und bei einer Wärmebehandlung in einer Stickstoffatmosphäre bei einer Temperatur von mindestens 1700 °C verdichtet. Im Anschluss an eine nachfolgende Abkühlung aus dem blockförmigen Element werden Trägerelemente als scheibenförmige Elemente mit einer Dicke der einzelnen Trägerelemente im Bereich 100 µm bis 3 mm mittels eines Drahtsägeprozesses erhalten.
Bauteil, das mit ß-Siliciumnitridwerkstoff gebildet ist und ein Verfahren zu seiner Herstellung
HERRMANN MATHIAS (author) / WOLFRUM ANNE-KATRIN (author) / KADEN THOMAS (author) / FUCHS MARCEL (author)
2019-01-10
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
European Patent Office | 2021
|Bauteil hergestellt aus keramischem Werkstoff und Verfahren zu seiner Herstellung
European Patent Office | 2017
|European Patent Office | 2019
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