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Piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
Piezoelektrische Betätigungsvorrichtung, die ein piezoelektrisches Element enthält, welches ein Paar von Elektroden aufweist, die auf der Oberfläche eines Blattes aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial ausgebildet sind, und mit einem Halterungsteil, welches das piezoelektrische Element haltert, bei der: das piezoelektrische Keramikmaterial wenigstens eine der folgenden Anforderungen (a) bis (e) befriedigt: (a) die Massendichte (bulk density) ist gleich mit oder kleiner als 5 g/cm3, der Young'sche Modul Y11 E, der gemäß einem Resonanz-Antiresonanz-Verfahren berechnet wird, ist gleich mit oder größer als 90 GPa; (b) der Koeffizient der thermischen Leitfähigkeit ist gleich mit oder größer als 2 Wm–1K–1; (c) der thermische Ausdehnungskoeffizient ist gleich mit oder größer als 3,0 ppm/°C über einen Temperaturbereich von –30°C bis 160°C hinweg; (d) der pyroelektrische Koeffizient ist gleich mit oder kleiner als 400 μCm–2K–1 über den Temperaturbereich von –30°C bis 160°C hinweg; und (e) der mechanische Qualitätsfaktor Qm, der gemäß dem Resonanz-Antiresonanz-Verfahren berechnet wird, ist gleich mit oder kleiner als 50 über einen Temperaturbereich von –30°C bis 80°C, und wobei das piezoelektrische Keramikmaterial aus einem kornorientierten oder keimorientierten piezoelektrischen Keramikmaterial besteht, welches aus einer polykristallinen Substanz hergestellt, deren Hauptphase als eine isotrope Perovskit-Zusammensetzung existiert, wiedergegeben durch die allgemeine Formel {Lix(K1-yNay)1-x}{Nb1-z-wTazSbw}O3 (worin 0 ≤ x ≤ 0,2, 0 ≤ y ≤ 1, 0 ≤ z ≤ 0,4, 0 < w ≤ 0,2 ist, und x + z + w > 0 gilt), und welches spezifische Kristallflächen der Körner oder Keime ...
The piezoelectric actuator includes a piezoelectric element ( 2 ) including a sheet of piezoelectric ceramic and electrodes formed at least part of the surface of the sheet of piezoelectric ceramic, and a holding member ( 4 ) holding the piezoelectric element ( 2 ); The piezoelectric at least one of the requirements (a) to (e) described below; (a) The bulk density shall be equal to or smaller than 5 g/cm3, and the Young's modulus Y11E calculated according to a resonance-antiresonance method shall be equal to or larger than 90 GPa; (b) The coefficient of thermal conductivity shall be equal to or larger than 2 Wm-1K-1; (c) The coefficient of thermal expansion shall be equal to or larger than 3.0 ppm/° C. over a temperature range from -30° C. to 160° C.; (d) The pyroelectric coefficient shall be equal to or smaller than 400 muCm-2K-1 over the temperature range from -30° C. to 160° C.; (e) The mechanical quality factor Qm calculated according to the resonance-antiresonance method shall be equal to or smaller than 50 over a temperature range from -30° C. to 80° C.
Piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
Piezoelektrische Betätigungsvorrichtung, die ein piezoelektrisches Element enthält, welches ein Paar von Elektroden aufweist, die auf der Oberfläche eines Blattes aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial ausgebildet sind, und mit einem Halterungsteil, welches das piezoelektrische Element haltert, bei der: das piezoelektrische Keramikmaterial wenigstens eine der folgenden Anforderungen (a) bis (e) befriedigt: (a) die Massendichte (bulk density) ist gleich mit oder kleiner als 5 g/cm3, der Young'sche Modul Y11 E, der gemäß einem Resonanz-Antiresonanz-Verfahren berechnet wird, ist gleich mit oder größer als 90 GPa; (b) der Koeffizient der thermischen Leitfähigkeit ist gleich mit oder größer als 2 Wm–1K–1; (c) der thermische Ausdehnungskoeffizient ist gleich mit oder größer als 3,0 ppm/°C über einen Temperaturbereich von –30°C bis 160°C hinweg; (d) der pyroelektrische Koeffizient ist gleich mit oder kleiner als 400 μCm–2K–1 über den Temperaturbereich von –30°C bis 160°C hinweg; und (e) der mechanische Qualitätsfaktor Qm, der gemäß dem Resonanz-Antiresonanz-Verfahren berechnet wird, ist gleich mit oder kleiner als 50 über einen Temperaturbereich von –30°C bis 80°C, und wobei das piezoelektrische Keramikmaterial aus einem kornorientierten oder keimorientierten piezoelektrischen Keramikmaterial besteht, welches aus einer polykristallinen Substanz hergestellt, deren Hauptphase als eine isotrope Perovskit-Zusammensetzung existiert, wiedergegeben durch die allgemeine Formel {Lix(K1-yNay)1-x}{Nb1-z-wTazSbw}O3 (worin 0 ≤ x ≤ 0,2, 0 ≤ y ≤ 1, 0 ≤ z ≤ 0,4, 0 < w ≤ 0,2 ist, und x + z + w > 0 gilt), und welches spezifische Kristallflächen der Körner oder Keime ...
The piezoelectric actuator includes a piezoelectric element ( 2 ) including a sheet of piezoelectric ceramic and electrodes formed at least part of the surface of the sheet of piezoelectric ceramic, and a holding member ( 4 ) holding the piezoelectric element ( 2 ); The piezoelectric at least one of the requirements (a) to (e) described below; (a) The bulk density shall be equal to or smaller than 5 g/cm3, and the Young's modulus Y11E calculated according to a resonance-antiresonance method shall be equal to or larger than 90 GPa; (b) The coefficient of thermal conductivity shall be equal to or larger than 2 Wm-1K-1; (c) The coefficient of thermal expansion shall be equal to or larger than 3.0 ppm/° C. over a temperature range from -30° C. to 160° C.; (d) The pyroelectric coefficient shall be equal to or smaller than 400 muCm-2K-1 over the temperature range from -30° C. to 160° C.; (e) The mechanical quality factor Qm calculated according to the resonance-antiresonance method shall be equal to or smaller than 50 over a temperature range from -30° C. to 80° C.
Piezoelektrische Betätigungsvorrichtung
NAGAYA TOSHIATSU (author) / NONOYAMA TATSUHIKO (author) / NAKAMURA MASAYA (author) / SAITO YASUYOSHI (author) / TAKAO HISAAKI (author) / HOMMA TAKAHIKO (author) / TAKATORI KAZUMASA (author)
2016-06-23
Patent
Electronic Resource
German
IPC:
H01L
Halbleiterbauelemente
,
SEMICONDUCTOR DEVICES
/
C04B
Kalk
,
LIME
/
G10K
Tonerzeugungsvorrichtungen
,
SOUND-PRODUCING DEVICES
/
H02N
Elektrische Maschinen, soweit nicht anderweitig vorgesehen
,
ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
/
H04R
LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS
,
Lautsprecher, Mikrofone, Schallplatten-Tonabnehmer oder ähnliche akustische, elektromechanische Wandler
European Patent Office | 2021
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