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Blanco de pulverización catódica de óxido de Sn Zn (Ga)
Un blanco de pulverización catódica que tiene un recubrimiento de acabado de una sola pieza de una longitud de al menos 80 cm que comprende una mezcla de óxidos de cinc, estaño y opcionalmente galio, caracterizado por que la mezcla de óxidos comprende óxido de estannato de cinc y la proporción de estaño en dicha mezcla de óxidos respecto a la cantidad total de galio, cinc y estaño es de 15 a 55% en át.
Blanco de pulverización catódica de óxido de Sn Zn (Ga)
Un blanco de pulverización catódica que tiene un recubrimiento de acabado de una sola pieza de una longitud de al menos 80 cm que comprende una mezcla de óxidos de cinc, estaño y opcionalmente galio, caracterizado por que la mezcla de óxidos comprende óxido de estannato de cinc y la proporción de estaño en dicha mezcla de óxidos respecto a la cantidad total de galio, cinc y estaño es de 15 a 55% en át.
Blanco de pulverización catódica de óxido de Sn Zn (Ga)
OBERSTE BERGHAUS JÖRG (author) / DE BOSSCHER WILMERT (author)
2017-06-08
Patent
Electronic Resource
Spanish
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