A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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SURFACE-TREATED ALUMINUM NITRIDE BAFFLE
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved aluminum nitride baffle, and manufacturing method and apparatus thereof.SOLUTION: In some embodiments, a baffle (200) for use in a semiconductor process chamber comprises a body (202) including aluminum nitride and a metal oxide binding agent, in which a ratio of the aluminum nitride to a metal oxide on a surface of the body is equal to or larger than that in the body. The body may have a center stem (204), and an outer annulus (206) coupled to and extending radially outside from a lower portion of the center stem. A method of fabricating a baffle comprises the steps of: sintering aluminum, nitrogen, and a metal oxide binding agent to form a body of the baffle, provided that the body has excess metal oxide binding agent disposed on a surface thereof; and removing a bulk of the excess metal oxide binding agent from the surface of the body.
【課題】改善された窒化アルミニウム製バッフルとその製造方法及び装置を提供する。【解決手段】幾つかの実施形態において、半導体プロセス・チャンバで用いるためのバッフル(200)が、窒化アルミニウムと金属酸化物結合剤とを含む本体(202)を含むことができ、本体の表面上における金属酸化物に対する窒化アルミニウムの比は、該本体内における該比より大きいか又はこれと等しい。本体は、中央ステム(204)と、該中央ステムの下部に結合され、そこから半径方向外方に延びる外側環(206)とを有することができる。バッフルを製造する方法は、アルミニウム、窒素、及び金属酸化物結合剤を焼結して、その表面上に過剰な金属酸化物結合剤が配置されたバッフルの本体を形成し、表面から過剰な金属酸化物結合剤のバルクを除去するステップを含むことができる。【選択図】図２Ａ
SURFACE-TREATED ALUMINUM NITRIDE BAFFLE
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved aluminum nitride baffle, and manufacturing method and apparatus thereof.SOLUTION: In some embodiments, a baffle (200) for use in a semiconductor process chamber comprises a body (202) including aluminum nitride and a metal oxide binding agent, in which a ratio of the aluminum nitride to a metal oxide on a surface of the body is equal to or larger than that in the body. The body may have a center stem (204), and an outer annulus (206) coupled to and extending radially outside from a lower portion of the center stem. A method of fabricating a baffle comprises the steps of: sintering aluminum, nitrogen, and a metal oxide binding agent to form a body of the baffle, provided that the body has excess metal oxide binding agent disposed on a surface thereof; and removing a bulk of the excess metal oxide binding agent from the surface of the body.
【課題】改善された窒化アルミニウム製バッフルとその製造方法及び装置を提供する。【解決手段】幾つかの実施形態において、半導体プロセス・チャンバで用いるためのバッフル(200)が、窒化アルミニウムと金属酸化物結合剤とを含む本体(202)を含むことができ、本体の表面上における金属酸化物に対する窒化アルミニウムの比は、該本体内における該比より大きいか又はこれと等しい。本体は、中央ステム(204)と、該中央ステムの下部に結合され、そこから半径方向外方に延びる外側環(206)とを有することができる。バッフルを製造する方法は、アルミニウム、窒素、及び金属酸化物結合剤を焼結して、その表面上に過剰な金属酸化物結合剤が配置されたバッフルの本体を形成し、表面から過剰な金属酸化物結合剤のバルクを除去するステップを含むことができる。【選択図】図２Ａ
SURFACE-TREATED ALUMINUM NITRIDE BAFFLE
表面処理された窒化アルミニウム製バッフル
MUHAMMAD M RASHEED (author) / DMITRY LUBOMIRSKY (author)
2015-08-13
Patent
Electronic Resource
Japanese
Baffle board, baffle board system and baffle board forming process
| European Patent Office | 2020
Hydrolysis process of a surface treated aluminum nitride powder-A FTIR study
| British Library Online Contents | 2002