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POWDER FOR DEPOSITING OR SINTERING
To provide a powder for depositing or sintering capable of easily forming a film or a sintered body having high corrosion resistance to plasma etching.SOLUTION: The powder for depositing or sintering has the peaks of cubic crystal Y3 Al5O12 and orthorhombic crystal YAlO3 observed in X-ray diffraction measurement. The intensity ratio of the (112) peak of orthorhombic crystal YAlO3 to the (420) peak of cubic crystal Y3Al5O12 is 0.01 or more and less than 1; the powder consists of a yttrium and aluminum composite oxide; the peak of pore sizes measured using a mercury penetration method is in a range of 0.1 μ or more and 1 μm or less; and the volume of pores having a pore size of 0.1 μm or more and 1 μm or less is 0.16 mL/g or more.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】プラズマエッチングに対して耐食性の高い皮膜又は焼結体を容易に形成することができる成膜用又は焼結用粉末を提供すること。【解決手段】本発明の成膜用又は焼結用粉末は、Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ3Ａｌ5Ｏ12のピークと直方晶ＹＡｌＯ3のピークが観察され、立方晶Ｙ3Ａｌ5Ｏ12の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ3の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満である。イットリウム及びアルミニウムの複合酸化物からなり、水銀圧入法を用いて測定した細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の範囲にピークを有し、且つ細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上である。【選択図】図２
POWDER FOR DEPOSITING OR SINTERING
To provide a powder for depositing or sintering capable of easily forming a film or a sintered body having high corrosion resistance to plasma etching.SOLUTION: The powder for depositing or sintering has the peaks of cubic crystal Y3 Al5O12 and orthorhombic crystal YAlO3 observed in X-ray diffraction measurement. The intensity ratio of the (112) peak of orthorhombic crystal YAlO3 to the (420) peak of cubic crystal Y3Al5O12 is 0.01 or more and less than 1; the powder consists of a yttrium and aluminum composite oxide; the peak of pore sizes measured using a mercury penetration method is in a range of 0.1 μ or more and 1 μm or less; and the volume of pores having a pore size of 0.1 μm or more and 1 μm or less is 0.16 mL/g or more.SELECTED DRAWING: Figure 2
【課題】プラズマエッチングに対して耐食性の高い皮膜又は焼結体を容易に形成することができる成膜用又は焼結用粉末を提供すること。【解決手段】本発明の成膜用又は焼結用粉末は、Ｘ線回折測定において立方晶Ｙ3Ａｌ5Ｏ12のピークと直方晶ＹＡｌＯ3のピークが観察され、立方晶Ｙ3Ａｌ5Ｏ12の（４２０）ピークに対する直方晶ＹＡｌＯ3の（１１２）ピークの強度比が０．０１以上１未満である。イットリウム及びアルミニウムの複合酸化物からなり、水銀圧入法を用いて測定した細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の範囲にピークを有し、且つ細孔径０．１μｍ以上１μｍ以下の細孔容積が０．１６ｍＬ／ｇ以上である。【選択図】図２
POWDER FOR DEPOSITING OR SINTERING
成膜用又は焼結用粉末
MATSUKURA KENTO (author) / MORIUCHI SEIJI (author)
2020-11-12
Patent
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