A platform for research: civil engineering, architecture and urbanism
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CERAMIC, CERAMIC-COATING METHOD, AND CERAMIC-COATING DEVICE
To provide: a novel ceramic-coating method and a ceramic-coating device used for the same, capable of achieving a thicker film than conventionally and increasing a growth rate at a low cost; ceramic in which particles are controlled by the coating.SOLUTION: A ceramic-coating method according to this invention includes the steps of: arranging a crucible having silicon housed therein inside a furnace body having heat-insulating properties; arranging a ceramic material above the crucible; introducing an inert gas into the furnace body; and heating the crucible under the inert gas atmosphere to melt the silicon, eluting carbon into the silicon-molten liquid from the crucible, and then depositing the silicon and the carbon from the molten liquid onto a surface of the ceramic material arranged above the crucible to form a SiC polycrystalline film.SELECTED DRAWING: Figure 5
【課題】従来と比較して厚膜で且つ成長速度の向上を低コストで実現可能な新規なセラミックスコーティング方法およびこれに用いるセラミックスコーティング装置、ならびに当該コーティングによってパーティクルが抑制されたセラミックスを提供する。【解決手段】本発明に係るセラミックスコーティング方法は、断熱性を有する炉本体内に、ケイ素を収容した炭素からなるるつぼを配置する工程と、前記るつぼの上方に、セラミックス材を配置する工程と、前記炉本体内に、不活性ガスを導入する工程と、不活性ガス雰囲気下で前記るつぼを加熱し、ケイ素を融解し、該ケイ素の融解液内に前記るつぼから炭素を溶出させると共に、前記融解液からケイ素および炭素を上方に配置した前記セラミックス材の表面に蒸着させてＳｉＣ多結晶膜を形成する工程と、を含む。【選択図】図５
CERAMIC, CERAMIC-COATING METHOD, AND CERAMIC-COATING DEVICE
To provide: a novel ceramic-coating method and a ceramic-coating device used for the same, capable of achieving a thicker film than conventionally and increasing a growth rate at a low cost; ceramic in which particles are controlled by the coating.SOLUTION: A ceramic-coating method according to this invention includes the steps of: arranging a crucible having silicon housed therein inside a furnace body having heat-insulating properties; arranging a ceramic material above the crucible; introducing an inert gas into the furnace body; and heating the crucible under the inert gas atmosphere to melt the silicon, eluting carbon into the silicon-molten liquid from the crucible, and then depositing the silicon and the carbon from the molten liquid onto a surface of the ceramic material arranged above the crucible to form a SiC polycrystalline film.SELECTED DRAWING: Figure 5
【課題】従来と比較して厚膜で且つ成長速度の向上を低コストで実現可能な新規なセラミックスコーティング方法およびこれに用いるセラミックスコーティング装置、ならびに当該コーティングによってパーティクルが抑制されたセラミックスを提供する。【解決手段】本発明に係るセラミックスコーティング方法は、断熱性を有する炉本体内に、ケイ素を収容した炭素からなるるつぼを配置する工程と、前記るつぼの上方に、セラミックス材を配置する工程と、前記炉本体内に、不活性ガスを導入する工程と、不活性ガス雰囲気下で前記るつぼを加熱し、ケイ素を融解し、該ケイ素の融解液内に前記るつぼから炭素を溶出させると共に、前記融解液からケイ素および炭素を上方に配置した前記セラミックス材の表面に蒸着させてＳｉＣ多結晶膜を形成する工程と、を含む。【選択図】図５
CERAMIC, CERAMIC-COATING METHOD, AND CERAMIC-COATING DEVICE
セラミックス、セラミックスコーティング方法、およびセラミックスコーティング装置
KAGAMI YUKI (author) / TAISHI TOSHINORI (author) / YAMAMOTO SHUICHI (author)
2020-12-24
Patent
Electronic Resource
Japanese
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME