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ALUMINA CERAMICS AND METHOD FOR PRODUCING ALUMINA CERAMICS
To provide alumina ceramics having surface resistivity in a desired range while satisfying high purity and high densification, and to provide a method for producing the same.SOLUTION: The alumina ceramics of the present invention includes Al2O3 as a main crystal and Na and Si as a sintering assistant, wherein in at least a range from a surface layer to a depth of 500 μm, an Na content is 1,000 ppm or less, an Si content is 10 ppm or more and 2,000 ppm or less, and an Na/Si value is 0.1 or more and 2 or less. Furthermore, the alumina ceramics of the present invention have: a purity of Al2O3 of 99% or more; and a surface resistivity of 5×1012 Ω/sq. or more and 5×1014 Ω/sq. or less.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】高純度及び高緻密性を満たしつつ、所望の範囲の表面抵抗率を有するアルミナセラミックス、及びその製造方法、を提供する。【解決手段】本発明にかかるアルミナセラミックスは、Al2O3を主結晶とし、焼結助剤としてNaとSiを使用することとし、少なくとも表層から深さ500μmの範囲において、Naの含有量が1000ppm以下、Siの含有量が10ppm以上2000ppm以下、かつNa/Siの値が0.1以上2以下である。さらに、本発明にかかるアルミナセラミックスは、Al2O3の純度が99%以上を有するとともに、表面抵抗率が5×1012Ω/□以上5×1014Ω/□以下である。【選択図】図1
ALUMINA CERAMICS AND METHOD FOR PRODUCING ALUMINA CERAMICS
To provide alumina ceramics having surface resistivity in a desired range while satisfying high purity and high densification, and to provide a method for producing the same.SOLUTION: The alumina ceramics of the present invention includes Al2O3 as a main crystal and Na and Si as a sintering assistant, wherein in at least a range from a surface layer to a depth of 500 μm, an Na content is 1,000 ppm or less, an Si content is 10 ppm or more and 2,000 ppm or less, and an Na/Si value is 0.1 or more and 2 or less. Furthermore, the alumina ceramics of the present invention have: a purity of Al2O3 of 99% or more; and a surface resistivity of 5×1012 Ω/sq. or more and 5×1014 Ω/sq. or less.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】高純度及び高緻密性を満たしつつ、所望の範囲の表面抵抗率を有するアルミナセラミックス、及びその製造方法、を提供する。【解決手段】本発明にかかるアルミナセラミックスは、Al2O3を主結晶とし、焼結助剤としてNaとSiを使用することとし、少なくとも表層から深さ500μmの範囲において、Naの含有量が1000ppm以下、Siの含有量が10ppm以上2000ppm以下、かつNa/Siの値が0.1以上2以下である。さらに、本発明にかかるアルミナセラミックスは、Al2O3の純度が99%以上を有するとともに、表面抵抗率が5×1012Ω/□以上5×1014Ω/□以下である。【選択図】図1
ALUMINA CERAMICS AND METHOD FOR PRODUCING ALUMINA CERAMICS
アルミナセラミックス、及びアルミナセラミックスの製造方法
FUKAZAWA YUJI (author) / NAKAGAWA TAKUYA (author)
2023-06-07
Patent
Electronic Resource
Japanese
IPC:
C04B
Kalk
,
LIME
Composition for alumina ceramics, alumina ceramics and preparation method of alumina ceramics
European Patent Office | 2015
|Joining alumina/zirconia ceramics
British Library Online Contents | 2003
|Alumina ceramics fabricated from bimodal alumina with additives
British Library Online Contents | 2006
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